**準(zhǔn)分子紫外線照射系統(tǒng) 　　
脈沖紫外線照射系統(tǒng)
用于FPD的紫外線系統(tǒng)　

準(zhǔn)分子紫外線照射裝置 ：
有2種勵(lì)磁方法 : 無線電頻 （RF） 方式和阻礙放電方式
Eye 公司的準(zhǔn)分子紫外線放射使用RF放電方法
 RF放電燈的特點(diǎn)
　1.強(qiáng)紫外線輸出
　2. 壽命長離子影響?。▽κ⒐鼙冢?br />　3. 無使用高電壓，所以安全性高。
　4. 對輸出紫外線可調(diào)光 準(zhǔn)分子紫外線裝置洗凈，改質(zhì)效果

 
 準(zhǔn)分子紫外線照射器特點(diǎn)
　1. 短波紫外線 ：氙氣準(zhǔn)分子燈可以發(fā)射高能量，短波紫外線（172 nm）這是傳統(tǒng)低壓水銀無法達(dá)到的

。這可以大幅度的減少反應(yīng)時(shí)間，這也是傳統(tǒng)低壓水銀燈無法做到的。
　2. 瞬間點(diǎn)燈 ：不像傳統(tǒng)低壓水銀燈，氙氣水銀燈點(diǎn)燈后無需穩(wěn)定時(shí)間，可即可輸出所需能量。可瞬

間開或關(guān)，無需快門，因此簡化構(gòu)造。
　3. 可低溫操作 ：不產(chǎn)生紅外線因此不會(huì)損壞部件
　4. 設(shè)定多樣化照射條件 ：各種氣體 （O2 和O3, 等等.） 可導(dǎo)入照射室, 調(diào)溫階段可使熱處理同時(shí)使

用。
 
 用途
　1. 在半導(dǎo)體區(qū)域，薄片和玻璃基板的干洗
　2. 液晶，PDP,EL等制造程序中的干洗

準(zhǔn)分子燈
 
準(zhǔn)分子燈
模式 輸出
（Ｗ） 有效弧長
（ｍｍ） 冷卻方式 圖示
EX240-1 200 200 水 圖 1
EXH280-1 200 200 水 圖 1
EXG430-1 400 400 水 圖 1
EXH530-1 500 500 水 圖 1
EXH680-1 600 600 水 圖 1
EXH880-1 800 800 水 圖 1
EXH1230-1 1000 1150 水 圖 1
EXH1780-1※ 1700 1700 水 圖 1
EXH2380-1 2300 2300 水 圖 1
 

準(zhǔn)分子照射系統(tǒng)

 規(guī)格
照射器
模式 UEEX801
有效照射范圍 800 X 90（mm）〔參考〕
燈模式 EXH880-1
波長 172nm
照射強(qiáng)度 （目標(biāo)） 大于等于35mW/cm2
尺寸（mm） 1,450（W）X290（D）X391（H）
重量 約95ｋｇ
 
模式 UEEX1153
有效照射范圍 1150X 170（mm）〔參考〕
燈模式 EXH1230-1
波長 172nm
照射強(qiáng)度 （目標(biāo)） 大于等于35mW/cm2
尺寸（mm） 1,754（W）X500（D）X404（H）
重量 約160ｋｇ
 
模式 UBEX204
有效照射范圍 max200X200（mm）
燈模式 4個(gè)高頻放電準(zhǔn)分子燈 EX240-1 Xe2*
波長 172nm
照射強(qiáng)度 （目標(biāo)） 大約等于15ｍＷ/ｃｍ2 or 
尺寸（mm） 550（W）X712（D）X326（H）
重量 約75ｋｇ
 
規(guī)格
電源
模式 UBEX801-3A/B
電壓 200Ｖ±10% 三面
頻率 50/60Ｈｚ
電容 ２ＫＶＡ
尺寸（mm） 430（W）X430（D）X222（H）
（不含突出部分）
重量 約15ｋｇ
 規(guī)格
效用
冷卻水給/排 水質(zhì) 相當(dāng)城市水
溫度 20±10℃
流量 1- 2?/min
壓力 0.2MPa
氮?dú)?純度 大于等于99.99% 
流量 10 - 40?/min
壓力 大于等于0.2MPa 
 
模式 UBEX1153-3A/B
電壓 200Ｖ±10% 三面
頻率 50/60Ｈｚ
電容 ６ＫＶＡ
尺寸（mm） 430（W）X550（D）X216（H）
（不包括突出部分）
重量 約20ｋｇ
 冷卻水給/排 水質(zhì) 相當(dāng)城市水
溫度 20±10℃
流量 4 - 6?/min
壓力 0.2MPa
氮?dú)?純度 大于等于99.99%
流量 30 - 60?/min
壓力 大于等于0.2MPa 
 
模式 UBEX204
電壓 200Ｖ±10% 三面
 頻率 50/60Ｈｚ
電容 1.5ＫＶＡ（7.5Ａ）
尺寸（mm） 480（W）X600（D）X199（H）
（不包括突出部分）
重量 約 30ｋｇ
 冷卻水給/排 水質(zhì) 相當(dāng)城市水
溫度 10 to 30℃
水流 2.5 - 5?/min
壓力 0.1 to 0.3MPa
氮?dú)?純度 大于等于99.99% 
流量 10 to 30?/min
壓力 大于等于0.3 to 0.5MPa
 
 
* 可提供弧長為400mm和600mm型
金剛石薄膜紫外線檢測
（ 模式: EVUV-200） 172nm/185nm
 特點(diǎn)
　1. 當(dāng)受控于電腦時(shí)，可以遠(yuǎn)程控制.
　2.金剛石薄膜的使用，即使長時(shí)間操作也不會(huì)降低感應(yīng)性能。
　3. 由于忽視可視光，即使在熒光燈燈照明場所也不會(huì)產(chǎn)生誤差。
　4. 為保護(hù)感應(yīng)器免受紫外線和臭氧侵害，封閉外殼為鍍金外殼
　5. 感應(yīng)器受光部為承受強(qiáng)紫外線，課穿透172nm波長的藍(lán)寶石窗口。  特點(diǎn)
? 主機(jī) 模式 EVUV-200
測定模式 3 種模式 : 強(qiáng)度測量, 峰強(qiáng)度測量, 積算光量
 
功能 - 溫度測定（測定器內(nèi)置感應(yīng)器上部
  ）
- 電壓不足提醒
- 零偏移
電源/
電池壽命 堿性電池 （size AAA） × 4 ea./100小時(shí)
（ 連續(xù)操作 ）
外形尺寸 Ｗ100ＸＨ45ＸＬ211 （mm）
重量 約 400g （ 包括電池s ）
附件 感應(yīng)器頭套× 1 （EVUVD-172 or EVUVD-185 ）
RS-232C兼用電線× 1
AAA 堿性電池 × 4
收納箱
 
 ?感應(yīng)頭套
模式 EVUVD-172 EVUV-185
校正波長 172 
照射強(qiáng)度
（ｍＷ/ｃｍ2） 0.00～60.00 
峰強(qiáng)度
（ｍＷ/ｃｍ2） 0.00～60.00 
積算光量
（ｍＪ/ｃｍ2） 0.00～9999 
外部輸入 模擬、ＲＳ-232Ｃ
尺寸（ｍｍ） Ｗ50ＸＨ17ＸＬ65 ※不包括電線
重量 （ｇ） 約150
操作環(huán)境 溫度（℃） 0- 50　
※內(nèi)置溫度感應(yīng)器 head
濕度（％ＲＨ） 小于等于85 （無結(jié)露）