廢氣處理設備CT-W水洗系統(tǒng)概述:
在處理各種化學氣相沉積和蝕刻工藝所排出的廢氣方面,水洗系統(tǒng)已被證明是有效解決方案。比起常見的水洗系統(tǒng)。centrotherm clean solutions 的水洗系統(tǒng)CT-W具有許多優(yōu)勢。CT-W能夠降低廢氣中99%的粉塵顆粒。經(jīng)吸附的粉塵顆粒將隨著廢水排出。
CT-W可以作為獨立的系統(tǒng)來安裝,亦可在我們的燃燒-水洗系統(tǒng)CT-BW中作為附件模塊。CT-W水洗系統(tǒng)可以獨立地運作,也可以嵌入CT-BW.例如強酸或粉塵諾要符合德國大氣污染物排放標準(TA-Luft),那么額外的水洗階段是非常必要的。當水洗系統(tǒng)置于CT-BW后時,粉塵的降低率和酸氣的吸附率一般超過99.9%。