超純水制造歷史進程：
*階段：預處理過濾器——>陽床——>陰床——>混合床
第二階段：預處理過濾器——>反滲透——>混合床
目前階段：預處理過濾器——>反滲透——>EDI（無需酸堿再生）
　　近幾十年以來，混床離子交換技術（D）一直作為超純水制備的標準工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中消耗大量的化學藥品（酸堿）和工業(yè)純水，并造成一定的環(huán)境問題，因此需要開發(fā)無酸堿超純水系統(tǒng)。
　　正因為傳統(tǒng)的離子交換已經(jīng)越來越無法滿足現(xiàn)代工業(yè)和環(huán)保的需求，于是將膜、樹脂和電化學原理相結合的EDI技術成為水處理技術的一場革命。其離子交換樹脂的的再生使用的是電能，而不再需要酸堿，因而更滿足于當今世界的環(huán)保要求。這一新技術可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的離子交換（DI）裝置，生產(chǎn)出電阻率高達18.25MΩ.cm的超純水設備。
　自從1986年EDI膜堆技術工業(yè)化以來，*已安裝了數(shù)萬套EDI系統(tǒng)，尤其在制藥、半導體、電力和表面清洗等工業(yè)中得到了大力的發(fā)展，同時在廢水處理、飲料及微生物等領域也得到廣泛使用。
　EDI設備是應用在反滲透系統(tǒng)之后，取代傳統(tǒng)的混床離子交換技術（MB-DI）生產(chǎn)穩(wěn)定的超純水。EDI技術與混合離子交換技術相比有如下優(yōu)點:

◆ 具有更高的產(chǎn)水質(zhì)量，zui高可達18.25MΩ*cm超純水標準。
◆ 脫鹽率高，出水質(zhì)更穩(wěn)定， 
◆ 水利用率高出，達95%
◆ 樹脂無需酸堿再生，無污水排放，更環(huán)保。
◆ 運行、操作、維護方便，全程自動化。
◆ 標準設計、視產(chǎn)水要求可將模塊不斷堆積，以適應更大產(chǎn)水量的要求
◆ 流量范圍從1m3/h到450m3/h以上
◆ 運行成本低、能耗少，每產(chǎn)水3.8m3/h，耗電1KW　　

反滲透超純水設備典型工藝流程為： 
　　1: 預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點 
　　2: 預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
　　3: 預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
　　水質(zhì)符合美國ASTM標準，電子部超純水水質(zhì)標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）