邦諾單晶制氮機

氮氣作為保護氣體在退火：雙工位熱氧化爐經(jīng)氮氣吹掃后，用紅外加熱至300~500℃，硅片表面和氧氣發(fā)生反應(yīng)，使硅片表面形成二氧化硅保護層。

工作原理

制氮機工作原理，制氮機是根據(jù)變壓吸附原理，采用高品質(zhì)的碳分子篩作為吸附劑，在一定的壓力下，從空氣中制取氮氣。經(jīng)過純化干燥的壓縮空氣，在吸附器中進行加壓吸附、減壓脫附。由于空氣動力學效應(yīng)，氧在碳分子篩微孔中擴散速率遠大于氮，氧被碳分子篩優(yōu)先吸附，氮在氣相中被富集起來，形成成品氮氣。然后經(jīng)減壓至常壓，吸附劑脫附所吸附的氧氣等雜質(zhì)，實現(xiàn)再生。一般在系統(tǒng)中設(shè)置兩個吸附塔，一塔吸附產(chǎn)氮，另一塔脫附再生，通過PLC程序控制器控制氣動閥的啟閉，使兩塔交替循環(huán)，以實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)氮氣之目的。

整套系統(tǒng)由以下部件組成：壓縮空氣凈化組件、空氣儲罐、氧氮分離裝置、氮氣緩沖罐。

制氮機技術(shù)指標：

流量：3-300Nm3/h           純度：95%-99.9995%

露點：≤-65℃             壓力：≤0.6Mpa可調(diào)

制氮機技術(shù)特點 
　　1、完善的流利設(shè)計，*使用效果； 
　　2、合理的內(nèi)部構(gòu)件，氣流分布均勻，減輕氣流高速沖擊； 
　　3、*的分子篩保護措施，延長碳分子篩的使用壽命； 
　　4、操作簡便，運行穩(wěn)定，自動化程度高，可實無人運行； 
　　5、自動聯(lián)鎖氮氣排空裝置，保證產(chǎn)品氮氣質(zhì)量； 
　　6、可選配氮氣裝置流量，純度自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)，遠程監(jiān)控系統(tǒng)等；