邦諾單晶制氮機(jī)
氮?dú)庾鳛楸Wo(hù)氣體在退火:雙工位熱氧化爐經(jīng)氮?dú)獯祾吆?,用紅外加熱至300~500℃,硅片表面和氧氣發(fā)生反應(yīng),使硅片表面形成二氧化硅保護(hù)層。
工作原理
制氮機(jī)工作原理,制氮機(jī)是根據(jù)變壓吸附原理,采用高品質(zhì)的碳分子篩作為吸附劑,在一定的壓力下,從空氣中制取氮?dú)?。?jīng)過純化干燥的壓縮空氣,在吸附器中進(jìn)行加壓吸附、減壓脫附。由于空氣動(dòng)力學(xué)效應(yīng),氧在碳分子篩微孔中擴(kuò)散速率遠(yuǎn)大于氮,氧被碳分子篩優(yōu)先吸附,氮在氣相中被富集起來(lái),形成成品氮?dú)狻H缓蠼?jīng)減壓至常壓,吸附劑脫附所吸附的氧氣等雜質(zhì),實(shí)現(xiàn)再生。一般在系統(tǒng)中設(shè)置兩個(gè)吸附塔,一塔吸附產(chǎn)氮,另一塔脫附再生,通過PLC程序控制器控制氣動(dòng)閥的啟閉,使兩塔交替循環(huán),以實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)高品質(zhì)氮?dú)庵康摹?/span>
整套系統(tǒng)由以下部件組成:壓縮空氣凈化組件、空氣儲(chǔ)罐、氧氮分離裝置、氮?dú)饩彌_罐。
制氮機(jī)技術(shù)指標(biāo):
流量:3-300Nm3/h 純度:95%-99.9995%
露點(diǎn):≤-65℃ 壓力:≤0.6Mpa可調(diào)
制氮機(jī)技術(shù)特點(diǎn)
1、完善的流利設(shè)計(jì),*使用效果;
2、合理的內(nèi)部構(gòu)件,氣流分布均勻,減輕氣流高速?zèng)_擊;
3、*的分子篩保護(hù)措施,延長(zhǎng)碳分子篩的使用壽命;
4、操作簡(jiǎn)便,運(yùn)行穩(wěn)定,自動(dòng)化程度高,可實(shí)無(wú)人運(yùn)行;
5、自動(dòng)聯(lián)鎖氮?dú)馀趴昭b置,保證產(chǎn)品氮?dú)赓|(zhì)量;
6、可選配氮?dú)庋b置流量,純度自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng),遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)等;