該儀器的應用領(lǐng)域覆蓋了薄膜/涂層、光學，工業(yè)軋鋼和鋁、紙、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介質(zhì)和半導體等幾乎所有的材料領(lǐng)域。
美國AEP Technology公司主要從事半導體檢測設(shè)備, MEMS檢測設(shè)備, 光學檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造，是表面測量解決方案行業(yè)的供應者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。
NANOMAP 500LS輪廓儀/三維形貌儀技術(shù)特點
- 常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的*結(jié)合。
- 雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖。
- 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
- 在掃描過程中使用彩色光學照相機可對樣品直接觀察。
- 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率 （zui?。?１nm ）
- 軟件設(shè)置恒定微力接觸。
- 簡單的2步關(guān)鍵操作，友好的軟件操作界面。
應用
- 三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機加工零件。
- 薄膜和厚膜的臺階高度測量。
- 劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量。
- 空間分析和表面紋理表征。
- 平面度和曲率測量。
- 二維薄膜應力測量。
- 微電子表面分析和MEMS表征。
- 表面質(zhì)量和缺陷檢測。
