上海HMDS烘箱供應技術(shù)參數(shù)
電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率:2000W
控溫范圍:RT+20℃-160℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度:±0.5℃
達到真空度:-100kPa(1torr)
工作室尺寸(mm):450*450*450(可定做)
有可自動吸取添加HMDS功能,智能型的程式設定,一鍵完成作業(yè)。
上海HMDS烘箱供應加熱模塊
由于工藝的整個過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進行,所以自始至終加熱
系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔內(nèi)分布兩塊獨立的熱板來實現(xiàn)加熱,每個熱板都采用人工智
能PID調(diào)節(jié)儀實現(xiàn)閉環(huán)控制,調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出從而實現(xiàn)溫度的精確
穩(wěn)定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
真空模塊
由機械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余的
HMDS蒸汽。
上海HMDS烘箱報價充氮模塊
作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而zui終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。
控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完成整個工藝過程。
它主要由人機界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組成。
人機界面采用φ100mm松下觸摸屏來實現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設定輸入。PLC采用松下的FP0系列小型化PLC。