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電腦式HMDS預處理烘箱涂膠烤箱HMDS真空鍍膜機

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具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱上海實貝儀器設(shè)備廠
品牌
型號PVD-090-HM
所在地上海市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間2017/2/20 11:07:18
訪問次數(shù)881

產(chǎn)品標簽:

HMDS烘箱 HMDS預處理烘箱 HMDS真空烘箱 HMDS真空鍍膜機 HMDS涂膠烤箱

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公司介紹主營產(chǎn)品

~上海實貝儀器設(shè)備廠成立于2010年，是生產(chǎn)實驗室設(shè)備、儀器儀表、醫(yī)用及分析設(shè)備的專業(yè)廠家。企業(yè)憑借專業(yè)的研發(fā)設(shè)計團隊及高效的制造能力,使得產(chǎn)品技術(shù)不斷創(chuàng)新改進提升?，F(xiàn)以生產(chǎn)銷售恒溫設(shè)備為核心的上海實貝儀器設(shè)備廠以全新的面貌服務(wù)于客戶。“服務(wù)于客戶，立足于客戶”是上海實貝儀器設(shè)備廠建廠以來Z根本的經(jīng)營理念，也是我們一直秉承的銷售思路，因為我們一直相信客戶才是企業(yè)的原動力，也是企業(yè)發(fā)展的根本。我們提供給客戶專業(yè)的技術(shù)、優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，并建立完善的售后服務(wù)，信守誠信經(jīng)營的原則，服務(wù)好我們每一位客戶，讓客戶滿意是我們的責任與義務(wù)。
產(chǎn)品廣泛應用于航天、軍事、通訊、機械電子、電器、汽車、化工、生物醫(yī)藥、醫(yī)療、食品、農(nóng)業(yè)科學、紡織、專科院校及科研等各類領(lǐng)域。
主要產(chǎn)品為: 鼓風干燥箱，真空干燥箱，高溫烘箱,無塵潔凈烘箱，高低溫試驗箱，恒溫恒濕試驗箱,老化箱，恒溫培養(yǎng)箱，生化霉菌培養(yǎng)箱，恒溫恒濕培養(yǎng)箱，二氧化碳培養(yǎng)箱，恒溫水浴箱，各類工業(yè)流水線烘道產(chǎn)品等。并承接各類非標恒溫干燥設(shè)備，環(huán)境試驗箱等。

生產(chǎn)基地規(guī)模占地面積約8000平方米，含激光切割車間、鈑金車間、焊接車間、組裝車間、半成品車間、成品車間、倉庫、辦公樓共約45人左右，是一家中等規(guī)模的生產(chǎn)企業(yè)。近幾年隨著廠區(qū)規(guī)模擴大后，為浙江、山東一帶一些的汽車行業(yè)和零部件用戶提供了大型的干燥機設(shè)備和流水線烘烤箱，以及半導體行業(yè)的HMDS烘箱設(shè)備和無塵烤箱，塑料膜具行業(yè)的真空攪拌機等。

展開顯示更多內(nèi)容

真空干燥箱，電熱鼓風干燥箱，高低溫試驗箱，恒溫恒濕箱，恒溫培養(yǎng)箱，無塵烘箱，醫(yī)用水浴箱

產(chǎn)品簡介在線詢價

*電腦式HMDS預處理烘箱涂膠烤箱HMDS真空鍍膜機，型號：PVD-090-HMDS
容積：90L
控溫范圍：R.T.+10～250℃
溫度分辨率：0.1℃
控溫精度：±0.5℃
隔板數(shù)量：2PCS
真空度：<133Pa
真空泵：DM4
電源：AC220/50HZ
額定功率：3.0KW
內(nèi)膽尺寸mm：450X450X450
外形尺寸mm：寬650*深640*高910

電腦式HMDS預處理烘箱涂膠烤箱HMDS真空鍍膜機產(chǎn)品信息

電腦式HMDS預處理烘箱涂膠烤箱HMDS真空鍍膜機

HMDS預處理真空烘箱

一、HMDS 預處理系統(tǒng)的必要性：

在半導體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

二、產(chǎn)品特點：

1)設(shè)備外殼采用科研級不銹鋼316L不銹鋼材質(zhì)制作，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內(nèi)膽外壁，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實驗情況。

2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)保持高真空度。

3) 采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定.

4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。

5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計，使真空箱密封性能*，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

6)整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)科研級316L不銹鋼材料制作，無發(fā)塵材料，適用百級光刻間凈化環(huán)境。

三、產(chǎn)品型號及參數(shù)：

型號：PVD-090-HMDS

容積：90L

控溫范圍：R.T.+10～250℃

溫度分辨率：0.1℃

控溫精度：±0.5℃

隔板數(shù)量：2PCS

真空度：<133Pa

真空泵：DM4

電源：AC220/50HZ

額定功率：3.0KW

內(nèi)膽尺寸mm：450X450X450

外形尺寸mm：寬650*深640*高910

木箱包裝mm:寬840*深750*高1100

連接管：316不銹鋼波紋管，將真空泵與真空箱*密封無縫連接

四、PVD-090-HMDS系列預處理系統(tǒng)的原理：

PVD-090-HMDS預處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

五、PVD-090-HMDS系列預處理系統(tǒng)的一般工作流程：

首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續(xù)到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進一步反應。

六、尾氣排放：

多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由真空泵抽出，排放到廢氣收集管道。在無廢氣收集管道時需做專門處理。

七、產(chǎn)品操作控制系統(tǒng)平臺配置:

1.采用DM4直聯(lián)旋片式真空泵

2.采用AISET溫控器控制溫度,日本三菱可編程觸摸屏操作模塊.

3.固態(tài)繼電器

其他選配：

1）加急停裝置

2）波紋管2米（標配為1米）

3）富士溫控儀表（溫度與PLC聯(lián)動）

4）三色燈

5）增加HMDS液體瓶