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HMDS烤箱機(jī)臺(tái)，HMDS預(yù)處理烘箱

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公司名稱(chēng)上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2017/3/16 13:45:59
訪問(wèn)次數(shù)1853

產(chǎn)品標(biāo)簽:

HMDS烤箱機(jī)臺(tái)HMDS預(yù)處理烘箱 HMDS涂膠烤箱 hmds烤箱 hmds真空烘箱

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“雋思儀器”）是一家專(zhuān)業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來(lái)，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國(guó)內(nèi)外廣大用戶(hù)提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶(hù)的*好評(píng)，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵無(wú)氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗(yàn)箱，高低溫試驗(yàn)箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測(cè)儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀，電線電纜檢測(cè)儀器，真空烘箱，黑蒜試驗(yàn)機(jī)，橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專(zhuān)業(yè)服務(wù)能力，做一個(gè)專(zhuān)業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理，在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶(hù)的*稱(chēng)贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì)，以飽滿(mǎn)的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)！

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HMDS烘箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，PI烤箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵無(wú)氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，超低溫試驗(yàn)箱

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢(xún)價(jià)

HMDS烤箱機(jī)臺(tái)，HMDS預(yù)處理烘箱箱體外殼采用高級(jí)不銹鋼制作，內(nèi)膽為316L醫(yī)用不銹鋼材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

HMDS烤箱機(jī)臺(tái)，HMDS預(yù)處理烘箱產(chǎn)品信息

HMDS預(yù)處理烘箱，HMDS烤箱機(jī)臺(tái)的原理：

HMDS烤箱機(jī)臺(tái)，HMDS預(yù)處理烘箱通過(guò)對(duì)烤箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS烤箱機(jī)臺(tái)，HMDS預(yù)處理烘箱技術(shù)參數(shù)：

電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率：2000W

溫度范圍：RT+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動(dòng)度：±0.5℃

達(dá)到真空度：133Pa

工作室尺寸（mm）：450*450*450，550*550*300（可定做）

外形尺寸（mm）：650*650*950

擱板層數(shù)：2層

真空泵：旋片式油泵（可選配進(jìn)口干泵）

特點(diǎn)：

1、預(yù)處理性能更好，由于是在經(jīng)過(guò)數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理，所以不會(huì)有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過(guò)100℃-200℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低，所以有著更好的處理效果。JS-HMDS預(yù)處理系統(tǒng)箱體外殼采用高級(jí)不銹鋼制作，內(nèi)膽為316L醫(yī)用不銹鋼材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

2、處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

3、效率高,液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)4盒的晶片，可處理2寸、4寸、6寸、8寸晶圓片等

4、更加節(jié)省藥液,實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理4盒晶片所用藥液還多；

5、更加環(huán)保和安全，整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會(huì)出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激呼吸道等，由于整個(gè)過(guò)程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會(huì)有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī)，所以也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。

6、JS-HMDS預(yù)處理系統(tǒng)帶有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。
7、具有低液位報(bào)警，防泄漏，尾氣處理等功能。

關(guān)鍵詞：真空泵加熱器