小型離子濺射儀報(bào)價小型離子濺射儀報(bào)價型號:KD02-JS-1600庫號:M389279
小型離子濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì),操作簡單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。
技術(shù)指標(biāo)如下:
1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%
2、真空室:直徑:160mm,高:120mm
3.樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:50mm
4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar
5.離子電流表:50mA
6.數(shù)顯計(jì)時器:根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時間。
7.電壓:-1600DVC
8.機(jī)械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,
10.微型真空氣閥: 配有氬氣進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié),可連接φ3mm軟管。
11. 外型尺寸:360mm×300mm×380mm
1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999%
2、真空室:直徑:160mm,高:120mm
3.樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:50mm
4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar
5.離子電流表:50mA
6.數(shù)顯計(jì)時器:根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時間。
7.電壓:-1600DVC
8.機(jī)械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,
10.微型真空氣閥: 配有氬氣進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié),可連接φ3mm軟管。
11. 外型尺寸:360mm×300mm×380mm