多晶硅還原爐鐘罩自動(dòng)清洗烘干系統(tǒng) Bell jar cleaning system

　　■適用范圍

　　西門子法多晶硅還原爐鐘罩（爐筒）內(nèi)壁的全自動(dòng)清洗和烘干。

　　■工作原理

　　以高壓水射流為動(dòng)力,以水力自驅(qū)動(dòng)三維洗罐器為噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用清洗劑等為主要清洗液，用純水（去離子水或叫脫鹽水）漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。

　　用經(jīng)過三級(jí)凈化（10萬(wàn)級(jí)）的純凈空氣，梯級(jí)加熱，zui終保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露，可直接進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)。

　　■系統(tǒng)特點(diǎn)

        1)技術(shù)能力強(qiáng)，設(shè)計(jì)合理，根據(jù)客戶需求，總結(jié)借鑒國(guó)內(nèi)外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗(yàn)，充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，設(shè)計(jì)出本套系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了還原爐鐘罩的全自動(dòng)清洗和烘干操作。可根據(jù)使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況，能源條件不同，提供個(gè)性化設(shè)計(jì)。

        2)設(shè)備性能可靠，核心部件、元件和附件*。

        3)自動(dòng)化程度高：PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能。

        4)適應(yīng)范圍廣：可以在一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種型號(hào)還原爐鐘罩的清洗烘干。

        5)節(jié)能、環(huán)保、安全：提供了預(yù)熱（余熱蒸汽、余熱水或油）加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統(tǒng)，基本消除了對(duì)現(xiàn)場(chǎng)及操作人員的污染。

        6)德高潔(www.digcher。。ｃｏｍ)集團(tuán)在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有分公司及辦事處。服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò)健全，零配件充足。

　　■工作流程

　　還原爐鐘罩到位—預(yù)清洗—清洗劑（堿液）清洗—漂洗—高純水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。

　　注：清洗劑的選擇對(duì)清洗效果和作業(yè)安全有直接影響，這方面我公司積累了豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)解決閃爆等問題。

　　■基礎(chǔ)條件

　　1)電源：380V/50Hz，30KW，電纜引至控制柜。

　　2)蒸汽：壓力0.175-0.9Mpa（G），到接口點(diǎn)。

　　3)壓縮空氣：不小于流量3NM3/h，壓力0.6-0.75Mpa（G）（氣動(dòng)閥、氣缸用氣）, 接口點(diǎn)。

　　4)脫鹽水：可提供條件，不小于100L/min，到接口點(diǎn)。

　　5)純水：不小于 100L/min，到接點(diǎn)。

　　6)清洗劑：NaOH清洗液等，不小于2立方米。

　　7)占地面積：36-80平方米（寬約6-7米，長(zhǎng)6-12米

　　8)三廢處理：洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣，排放到需方處，由需方自行處理，配排污水（池、槽）溝；清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放。

　　■設(shè)備組成

　　1)高壓熱水清洗動(dòng)力裝置1套

由高壓熱水清洗機(jī)及附件（1套），高壓水自驅(qū)動(dòng)三維洗罐器（1套），三維洗罐器升降裝置（氣動(dòng)，1套）組成。

　　2)熱風(fēng)凈化烘干機(jī)組1套

進(jìn)風(fēng)凈化等級(jí)：10萬(wàn)級(jí)。

　　3)清洗烘干工作臺(tái)及管道1套

　　4)電氣控制系統(tǒng)1套。

采用PLC+觸摸屏全自動(dòng)控制，全套德高潔版控制軟件。

　　注：水和風(fēng)的加熱方式：電加熱，蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。