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光源產生穩(wěn)定的160-400nm的輸出光譜。其峰-峰穩(wěn)定性小于0.005%,漂移僅為+/-0.5%每小時。
主要特點:
深紫外覆蓋。覆蓋范圍是160-400nm。
性能。峰-峰穩(wěn)定性小于0.005%的超穩(wěn)定光源輸出。
主要應用:
半導體檢測、薄膜厚測量、靜電去除器、光譜學、環(huán)境計量、光學元T(不是) 件檢測、材料抗紫外性測試和激發(fā)光源等。
光學系統(tǒng):
光譜數(shù)據(jù):
htt | |
光譜曲線1(MgF2窗口) | 光譜曲線2(硅、紫外玻璃) |
光穩(wěn)定性
技術參數(shù):
功率: | 830 mA @ 230 VDC |
波長范圍: | 190-400 nm (深紫外燈) |
峰-峰穩(wěn)定性: | <0.005% at 230 nm |
漂移: | +/-0.5% per hour at 230 nm |
40 分鐘 | |
電壓和電流: | Ignition 350V/20 A operating 85 V/0.3A |
燈泡壽命: | 1,000 小時 |
工作溫: | 5 ℃ - 35 ℃ |
濕: | 5-95%無冷凝 40 ℃ |
輻射特性: | 0.5mm縫,數(shù)字狹縫26(13) |
電源要求: | 220 V 50/60 Hz |
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