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光源產(chǎn)生穩(wěn)定的160-400nm的輸出光譜。其峰-峰穩(wěn)定性小于0.005%，漂移僅為+/-0.5%每小時。
主要特點(diǎn)：
深紫外覆蓋。覆蓋范圍是160－400nm。
性能。峰-峰穩(wěn)定性小于0.005%的超穩(wěn)定光源輸出。
主要應(yīng)用：
半導(dǎo)體檢測、薄膜厚測量、靜電去除器、光譜學(xué)、環(huán)境計(jì)量、光學(xué)元T(不是) 件檢測、材料抗紫外性測試和激發(fā)光源等。
光學(xué)系統(tǒng)：
光譜數(shù)據(jù)：
htt | |
光譜曲線1（MgF2窗口） | 光譜曲線2（硅、紫外玻璃） |
光穩(wěn)定性
技術(shù)參數(shù)：
功率: | 830 mA @ 230 VDC |
波長范圍: | 190-400 nm (深紫外燈) |
峰－峰穩(wěn)定性: | <0.005% at 230 nm |
漂移: | +/-0.5% per hour at 230 nm |
40 分鐘 | |
電壓和電流: | Ignition 350V/20 A operating 85 V/0.3A |
燈泡壽命: | 1,000 小時 |
工作溫: | 5 ℃ - 35 ℃ |
濕: | 5-95%無冷凝 40 ℃ |
輻射特性: | 0.5mm縫，數(shù)字狹縫26（13） |
電源要求: | 220 V 50/60 Hz |
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