應(yīng)用領(lǐng)域: CVD系列真空氣氛管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長等等;也可適用于金屬材料的擴展焊接以及真空或保護氣氛下熱處理.
產(chǎn)品特點: CVD系列真空氣氛管式爐專門設(shè)計用于高溫材料沉積之用。 硅鉬棒加熱、剛玉爐管爐膛, 可預(yù)抽真空,便于通入?yún)⒓臃磻?yīng)的氣體,進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計隔板結(jié)構(gòu)。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點,是理想的科研設(shè)備。
主要技術(shù)指標:
設(shè)備型號 | CVD(D)-06/60/3 | CVD(Z)-06/30/1 | CVD(G)-07/50/2 | CVD(G)-09/50/1 | |
zui高溫度 | 1050℃ | 1300℃ | 1650℃/1000℃ | 1650℃ | |
使用溫度 | RT—1000℃ | 850-1300℃ | 1000-1600℃ | 1000-1600℃ | |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | |
溫區(qū)個數(shù) | 3個 | 1個 | 2個 | 1個 | |
加熱區(qū)長度 | 600mm | 300mm | 500mm(300mm/200mm) | 500mm | |
爐管尺寸 | ф60(外徑)×1400(mm) | ф60(外徑)×1000(mm) | ф70(外徑)×1450(mm) | ф90(外徑)×1450(mm) | |
爐管材料 | 石英管 | 剛玉管 | 剛玉管 | 剛玉管 | |
發(fā)熱元件 | 進口電阻絲 | 電阻絲/硅碳棒 | 硅鉬棒、電阻絲 | 硅鉬棒 | |
zui大裝機功率 | 4.5KW | 3kw/8kw | 10kw | 12kw | |
CVD-□□□ 選件功能 | /□ | /□ | | ||
V | | 真空系列:單級機械泵+擴散泵機組 | |||
| Q | 氣氛系統(tǒng):浮子流量計;進口/國產(chǎn)質(zhì)量流量計 | |||
備注: CVD系列(電爐、工業(yè)電爐、實驗電爐、高溫電爐、熱處理工業(yè)電爐)以上設(shè)備系統(tǒng)具備冷態(tài)極限真空6.67×10-2Pa接口條件;其他特殊工藝要求的訂貨時請說明。 具體價格根據(jù)工藝要求不同面議,具體請:張,; |
具體請參照合肥日新高溫技術(shù)有限公司企業(yè)門戶產(chǎn)品頁面:http://www.risine.com/product_default.asp