可移動(dòng)排氣臺(tái)方案配置說(shuō)明
一、配置(簡(jiǎn)單氣路,不用旁抽):
分子泵:JTFB-1600,抽速1600L/s的國(guó)產(chǎn)風(fēng)冷復(fù)合分子泵;
機(jī)械泵:TRP-36,抽速9L/s的合資機(jī)械泵;
復(fù)合真空計(jì):PDF-5227,測(cè)量范圍大氣壓—10-5Pa,含CF35
電離規(guī)和KF16電阻規(guī);
轉(zhuǎn)接真空室:CF250—CF150,高度200mm;
插板閥:CF150手動(dòng);
防返油閥:KF40壓差隔斷放氣閥,電磁驅(qū)動(dòng);
波紋管:1根 CF150*1500mm+1根 KF40*500mm
移動(dòng)平臺(tái):帶圍板的小車。
二、實(shí)例