氣體質(zhì)量流量計DSN-B型 MFMMFC
特性:DSN-B型 MFC/MFM
(氣體-流量范圍30-200SLPM)
本產(chǎn)品采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器,氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻,高耐腐蝕,使得MFC具有更*的性能優(yōu)勢:
1.高的可靠性、穩(wěn)定性和重復(fù)性。
2.高精密的控制機構(gòu)。
3.高速響應(yīng) MFM< 0.5秒; (MFC通常< 4s)。
4.長壽命(正常使用可達十年以上)。
5.采用微小尺寸的傳感器,消除了“傳感器”本身熱效應(yīng)對層流的破壞,“零點漂移”小于1%。
6.可自行清除工作過程中的表面污物(注:此項操作須在生產(chǎn)廠家進行)。
7.適應(yīng)于一切氣體(包括腐蝕性氣)。
8.一體化設(shè)計,*的抗電磁干擾性能。