一、艾里卡特雙向質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域
- 雙向測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
- 控制來自壓縮氣體或真空泵的氣體的質(zhì)量流量或體積流量
- 控制流經(jīng)氣體的壓力或背壓
- 控制密閉系統(tǒng)內(nèi)壓力(自帶排氣)
二、艾里卡特雙向質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品優(yōu)勢
具備ALICAT常規(guī)產(chǎn)品所有的優(yōu)勢，如響應(yīng)時間快，操作簡單，控制精度高，重復(fù)性高等
三、產(chǎn)品性能
標(biāo)準(zhǔn)性能
- 多功能數(shù)字顯示屏
- 顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
- 低壓損
- 無需預(yù)熱
- Viton密封
- 8針mini-DIN電信號接口
- 標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
- RS-232多點式數(shù)字信號輸入&輸出
- 0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多種模擬信號輸入&輸出可選
- 可調(diào)節(jié)PID算法
- 內(nèi)置30種氣體可選
- 200:1 量程可調(diào)比
- NPT接頭
可選性能
- 累加器
- 6針、DB9或DB15電信號接口
- ProfiBUS數(shù)字信號輸出
- RS-485數(shù)字信號輸出
- 第二種模擬信號輸出
- 遠(yuǎn)程顯示屏
- EPDM密封
- NeSSI本體
- 氧氣清潔
- SAE接頭
- VCR, VCO接頭
- 5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
- 額外標(biāo)定點
- 定制混個氣體（zui多4種）
- 不銹鋼閥門
- 集成式電位計控制
四、產(chǎn)品參數(shù)
- 可控制從-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的滿量程的任何流量，量程可調(diào)比為200：1
- 精度&重復(fù)性：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注：該處F.S.為雙向滿量程之和)
- 控制響應(yīng)時間：＜100毫秒
- zui大入口壓力：145 psig (MCD & MCDS)、50 psig (MCDW)
