潔凈實驗室裝修建設(shè)參考:
1、每一生產(chǎn)層防火區(qū)或潔凈區(qū)至少設(shè)2個安全出口,只有面積小于50㎡,人員少于5人時,可允許只設(shè)一個安全出口。
2、人凈入口不應(yīng)作疏散出口。因為人凈路線往往迂回曲折,一旦煙火迷漫,要求人員很快跑到室外是很困難的事。
潔凈實驗室裝修建設(shè)zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非*沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。
當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響,所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
空氣潔凈室:已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài)潔凈室:各種功能完備、設(shè)定安裝妥當,可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
動態(tài)潔凈室:處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設(shè)備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的*。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*,這樣的高標主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
潔凈區(qū)內(nèi)各潔凈室的門,考慮到維持室內(nèi)壓力狀況的需要,其開設(shè)方向要朝向壓力大的房間,因為要靠壓力把門壓緊,這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時潔凈和緊急疏散時的兩方面要求,規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門、潔凈區(qū)與室外的門作為安全疏散門對待,其開啟方向一律朝向疏散方向,當然,單設(shè)的安全門也是如此。