BCB膠高溫固化烘箱、光刻膠固化烤箱簡介:
BCB膠高溫固化烘箱、光刻膠固化烤箱主要應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
技術(shù)要求:
1、設(shè)備名稱 | 無氧高溫烘箱,百級(jí)無氧烘箱 | |||||||||||
2、設(shè)備型號(hào) | JS-MOA1系列 | |||||||||||
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) | ||||||||||||
3.1 工作室尺寸 | 450×450×650mm(W×D×H)(可自定義) | |||||||||||
3.2 材質(zhì) | 外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用SUS/304不銹鋼 | |||||||||||
3.3 溫度范圍 | RT+10-450℃(可定做),使用溫度≤380℃ | |||||||||||
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ | |||||||||||
3.5 溫度波動(dòng)度 | <±1℃ | |||||||||||
3.6 溫度均勻度 | ≤±2% | |||||||||||
3.7 潔凈度 | class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境 | |||||||||||
3.8電源及總功率 | AC 380V±10% / 50HZ 總功率約10.0KW | |||||||||||
3.9 升溫時(shí)間 | 每分鐘5度(可定做),全程平均(空箱測試) | |||||||||||
3.10降溫時(shí)間 | 降溫方式:水冷+風(fēng)冷,300℃-90℃降溫時(shí)間約為1小時(shí)(空箱測試) | |||||||||||
3.11氧含量 (配氧含量分析儀) | 高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量 | |||||||||||
3.12 數(shù)據(jù)輸出 | 氧含量記錄儀 | |||||||||||
4、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
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hmds真空鍍膜機(jī),光刻hmds鍍膜烤箱的用途:
hmds真空鍍膜機(jī)通過對(duì)烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
hmds真空鍍膜機(jī),光刻hmds鍍膜烤箱的特點(diǎn):
1、安全性高、更加環(huán)保,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會(huì)出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激、呼吸道等,由于整個(gè)過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會(huì)有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī),所以也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。
2、效率高,液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)8盒(4寸)的晶片
3、預(yù)處理性能好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-160℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有著更好的處理效果。
4、均勻性好,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
5、更加智能化,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。當(dāng)HMDS液位過低時(shí)發(fā)出報(bào)警提示。
hmds真空鍍膜機(jī),光刻hmds鍍膜烤箱的技術(shù)規(guī)格:
1.設(shè)備名稱 | HMDS預(yù)處理系統(tǒng) |
2、設(shè)備型號(hào) | JS-HMDS90 |
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) | |
3.1 工作室尺寸 | 450×450×450mm(可修改) |
3.2 產(chǎn)品架 | 2層 |
3.3 溫度范圍 | RT+10-250℃ |
3.4 溫度分辨率 | 0.1℃ |
3.5 溫度波動(dòng)度 | <±1℃ |
3.6 真空度 | ≤133pa |
3.7 潔凈度 | class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境 |
3.8電源及總功率 | AC 220V±10% 50HZ 總功率 約2.5KW |
3.9 控制儀表 | 人機(jī)界面 |
3.10顯示分辨率 | 時(shí)間:0.1min |
3.11真空泵 | 油泵或干泵 |