HMDS烤箱
1、機(jī)外殼采用冷軋板烤漆處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。
3、微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。
4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。
5、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。
6、整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造,無(wú)發(fā)塵材料,適用100 級(jí)光刻間凈化環(huán)境。
HMDS烤箱
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
| |
設(shè)備名稱 |
|
設(shè)備型號(hào) | JS-HMDS90 |
設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) | |
工作室尺寸 | 450×450×450(mm),可自定尺寸 |
材質(zhì) | 外箱采用304不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼 |
溫度范圍 | RT+10-250℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動(dòng)度 | ±0.5℃ |
真空度 | ≤133pa(1torr) |
潔凈度 | class 100,設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境 |
電源及總功率 | AC 220V±10% / 50HZ 總功率約2.0KW |
控制儀表 | 人機(jī)界面 |
擱板層數(shù) | 2層 |
HMDS加液 | 自動(dòng)加液(可選擇) |
真空泵 | 旋片式油泵(進(jìn)口無(wú)油干泵) |
保護(hù)裝置 | 漏電保護(hù),過熱保護(hù) |