硅片無氧烘箱,半導體厭氧烤箱? 概述
硅片無氧烘箱,半導體厭氧烤箱,在工作時,工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……
技術(shù)參數(shù)
主要技術(shù)指標
Ø 含氧量:< 100ppm;
Ø 溫度范圍: RT(室溫)+10~ +200℃;
Ø 溫度均勻度:±1℃;
Ø 溫度波動度:±0.5℃(空載)
Ø 溫控精度:0.1℃
箱體結(jié)構(gòu)
烘箱擱板為活動形式。
Ø 溫控裝置:智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng),控溫精度±1℃,溫度為室溫至300℃任意調(diào)節(jié),并具有PID自整定,自動恒溫等功能
Ø 超溫保護:獨立配置超溫保護儀,超過溫度上限,自動報警并主動切斷加熱
Ø 固態(tài)輸出:SSR無觸點繼電器模塊,靈敏度高,壽命長
Ø 測溫裝置:不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器,精確測溫,放心使用
Ø 定時裝置:高精度數(shù)顯自動定時器,0-99.99小時恒溫時間設(shè)定,可預設(shè)烘烤時間
Ø 報警系統(tǒng):APT/AD16型聲光報警系統(tǒng),時間到聲光報警并自動切斷加熱
Ø 電器元件:采用電器
Ø 安全裝置:漏電,短路,過載保護;鼓風電機過載缺相保護