光氧催化氧化是指在一定波長光照條件下半導(dǎo)體材料發(fā)生光生載流子的分離,然后光生電子和空穴在與離子或分子結(jié)合生成具有氧化性或還原性的活性自由基,這種活性自由基能將有機(jī)物大分子降解為二氧化碳或其他小分子有機(jī)物以及水,在反應(yīng)過程中這種半導(dǎo)體材料也就是光催化劑本身不發(fā)生變化利用高能高臭氧紫外線光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負(fù)電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進(jìn)而產(chǎn)生臭氧。
       當(dāng)化學(xué)物質(zhì)通過吸收能量(如熱能、光子能量等)，可以使自身的化學(xué)性質(zhì)變得更加活躍甚至被裂解。當(dāng)吸收的能量大于化學(xué)鍵鍵能，即可使得化學(xué)鍵斷裂，形成游離的帶有能量的原子或基團(tuán)。有機(jī)廢氣物質(zhì)通過吸收該波段的光子，而該波段的光子能量大于絕大多數(shù)的化學(xué)鍵鍵能，使得有機(jī)物質(zhì)得以裂解；再通過裂解產(chǎn)生的臭氧將其氧化成簡單、無害、穩(wěn)定的物質(zhì)，如H2O和CO2等。