5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制計
5850EMH 系列的核心是高穩(wěn)定的傳感器,其提供與流速線性相關(guān)的電氣輸出信號。該信號用于指示、記錄和/或控制目的而無需自動歸零電路。
5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制計
特點
- 高泄漏完整性(小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He)
- 寬流速范圍(0.003 – 100 slpm)
- 高純度 VAR 316L 不銹鋼
- 無磨粒
- 氦泄漏檢查端口
- 常閉閥(可選常開閥)
- 電致動閥復(fù)位
- 低命令流量斷流
- TTL 兼容”關(guān)閥”功能優(yōu)勢
- 穩(wěn)定、可靠的產(chǎn)品平臺
- 高流量,高達 100 lpm(N2 當(dāng)量)
- 全金屬流路提高氣體純度及減少泄漏
- 僅使用模擬輸入/輸出容易安裝和維修
5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制計
應(yīng)用
- 光纖制造——MCVD,OVD,AVD
- 水汽流量控制
5850EMH系列高溫質(zhì)量流量控制計
型號 | 5850EMH | 5851EMH |
流量范圍-滿量程容量 | 3 sccm – 30 slm (N2 equivalent) | 10 – 100 slm (N2 equivalent) |
精度 | ±1% FS | ±1% FS |
重復(fù)性 | < ±0.25% of SP | < ±0.25% SP |
響應(yīng)時間-常閉 | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) | 3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91) |
模擬通訊 | 0-5 Vdc | 0-5 Vdc |