無需復(fù)雜壓力轉(zhuǎn)換的 PVD 過程監(jiān)控
Transpector XPR3 氣體分析儀提供的 RGA 過程監(jiān)控功能可以為您提供有關(guān)污染級別、除氣級別、氣體純度和設(shè)備操作等方面的實時數(shù)據(jù)。用戶可以根據(jù)此信息檢測和診斷問題,從而*大化吞吐量和產(chǎn)量,也可以根據(jù)此信息制定更有效的預(yù)防性維護計劃,從而延長工具運行時間。
Transpector XPR3 是新一代氣體分析系統(tǒng),可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。它借鑒了之前 INFICON 系統(tǒng)的成功經(jīng)驗,具有*的靈敏度、準確性和靈活性,可以監(jiān)控氣相沉積 (PVD) 過程。Transpector XPR3 取得了一系列技術(shù)上的突破,無需大型、復(fù)雜的壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備,即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內(nèi)操作。
XPR3 氣體分析儀功能
- 經(jīng)過重新設(shè)計的離子源*大限度減少污染積存,可延長使用壽命,提供更純凈的信號。
- 新 EM 在 PVD 過程壓力下工作,可實現(xiàn)更快速、更純凈的數(shù)據(jù)收集,消除 FC 向 EM 過度的必要,更便于數(shù)據(jù)分析。
- 更長的新型四極桿提高了低質(zhì)量范圍下的濾波性能,增強了豐度靈敏度,從而提高了氫氣檢測靈敏度。
典型應(yīng)用
- PVD 過程模塊
- 預(yù)清洗模塊
- 非群集 PVD 工具
- 夾鉗式除氣模塊