產(chǎn)品特性
1. 緊湊的結(jié)構(gòu)
2. 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動
3. 高等院校/研究所/工業(yè)用戶實驗室使用
4. 可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
5. 精密絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動
6. 無回程差設(shè)計
7. 1微米以上電極/PAD測試
8. VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試
9. VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性測試
10. 器件的高頻特性測試
主要技術(shù)指標(biāo)
型號 | LS-WPS100-SE | LS-WPS150-SE | LS-WPS200-SE | LS-WPS300-SE | ||
外形 | 580mm長* 620mm寬* 730mm高 | 600mm長* 700mm寬* 730mm高 | 660mm長* 660mm寬* 700mm高 | 1030mm長* 820mm寬* 730mm高 | ||
重量 | 約70公斤 | 約80公斤 | 約85公斤 | 約180公斤 | ||
電力需求 | 220VC, 50~60Hz | |||||
樣品臺 | 尺寸 | 4英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | 6英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | |
X-Y行程 | 4*4英寸 | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 | ||
Z軸行程 | 6mm(快速切換)/6mm(微調(diào)) | |||||
移動精度 | 10um/1um | |||||
樣品固定方式 | 真空吸附 | |||||
背電極測試功能 | 有,樣品臺電學(xué)獨立懸空 | |||||
針座平臺 | U型平臺,多可放置6個針座 | U型平臺,多可放置8個針座 | U型平臺,多可放置10個針座 | U型平臺,多可放置12個針座 | ||
光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm | ||||
顯微鏡移動精度 | 1um | |||||
切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | |||||
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | |||||
鏡頭規(guī)格 | 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配) | |||||
CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | |||||
點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||||
機(jī)械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||||
漏電精度 | 10pA/100fA(配置屏蔽箱時) | |||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | |||||
應(yīng)用方向 | VCSEL芯片及LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試等。 |