放大倍率校準(zhǔn)圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品 光學(xué)計(jì)量
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
該標(biāo)樣用于掃描電鏡(包括電子探針等)儀器主要性能的校驗(yàn)和檢驗(yàn),如圖像的放大倍率檢驗(yàn)與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺(tái)的復(fù)位檢驗(yàn)等,是掃描電鏡儀器驗(yàn)收、儀器年度檢驗(yàn)、計(jì)量認(rèn)證、實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可等考核中,*的標(biāo)準(zhǔn)樣品。同時(shí),該標(biāo)準(zhǔn)樣品也是掃描電鏡微米納米長(zhǎng)度精確測(cè)量的佳標(biāo)準(zhǔn)樣品、是微米長(zhǎng)度測(cè)量的可溯源級(jí)別的量值傳遞工具。是多個(gè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等實(shí)施所必需的標(biāo)準(zhǔn)樣品。
特點(diǎn):
1、擁有現(xiàn)代的加工工藝,研制技術(shù)本身具有足夠的精度等保證其質(zhì)量;
2、底層鍍有純鈦層,表面有120nm厚的Au膜,可稱之為擁有特厚金層,不僅可長(zhǎng)期穩(wěn)定保存,而且具有極其良好的導(dǎo)電性;
3、具有格柵狀雙向結(jié)構(gòu),與早期使用的初級(jí)銅網(wǎng)結(jié)構(gòu)相似, 是國(guó)內(nèi)外的可以同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡、電子探針的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正的標(biāo)樣;
4、有德國(guó)PTB的計(jì)量型原子力顯微鏡的測(cè)量研究報(bào)告和研制者的研制報(bào)告正式發(fā)布(見“掃描電鏡測(cè)長(zhǎng)問題的討論”一書),即采用目前精度好、可溯源的檢測(cè)方法,有可靠的文獻(xiàn)依據(jù);
5、S1000曾經(jīng)過我國(guó)國(guó)家計(jì)量研究院的多次檢驗(yàn)測(cè)試,并多次獲得合格證書;
6、S1000早在2005年通過全國(guó)微束標(biāo)委會(huì)的有關(guān)專家評(píng)審?fù)ㄟ^,具備報(bào)批國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)樣品的資格,并且已經(jīng)過眾多用戶近十年的使用,證明其質(zhì)量?jī)?yōu)良;
7、公開出版的“掃描電鏡測(cè)長(zhǎng)問題的討論”專著實(shí)際上是一本S1000的綜合性的研制報(bào)告;這也是這類標(biāo)樣中的一;
8、價(jià)格低廉,易于保存、易于普及到每個(gè)掃描電鏡和電子探針實(shí)驗(yàn)室;
9、功能多,用途多。
(1)可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正,是校準(zhǔn)從10×~100.000×及以上范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品:是執(zhí)行GB/T27788“微束分析一掃描電鏡一圖像放大倍率校準(zhǔn)導(dǎo)則”一個(gè)準(zhǔn)的校準(zhǔn)標(biāo)樣
(2)可直接用于同一量級(jí)物體,毫米量級(jí)到納米量級(jí)長(zhǎng)度的精確比對(duì)測(cè)量,是執(zhí)行GB/T16594和GB/T20307微米和納米測(cè)量的一個(gè)不能缺少的準(zhǔn)的度量工具
(3)可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn),是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的一個(gè)重要工具
(4)對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用
(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子”圖像,可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)
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