光電車間凈化工程是指不同級(jí)別電子廠凈化車間或電子實(shí)驗(yàn)室的半導(dǎo)體、微電子、光電技術(shù)、光學(xué)儀器、PCB、食品、模具等工程。光學(xué)微電子凈化工程又稱清凈室或無(wú)塵室,目前已是精密制造、半導(dǎo)體、光學(xué)制造、液晶制造、線路板制造和醫(yī)藥、生物化學(xué)、食品制造等行業(yè)*的重要設(shè)施。近幾年來,因技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化的需求越發(fā)迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目。按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求,凈化級(jí)別從 10-30 萬(wàn)級(jí)。凈化的程度也直接影響了電子產(chǎn)品制作的質(zhì)量。
一、光學(xué)微電子凈化工程一般包括哪些功能分區(qū):
1.潔凈生產(chǎn)區(qū)
2.管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
3.潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
二、電子實(shí)驗(yàn)室凈化標(biāo)準(zhǔn)參數(shù):
二、電子實(shí)驗(yàn)室通用結(jié)構(gòu)材料:
1.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
2.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
3.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
4.凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
四、三仁電子廠/電子實(shí)驗(yàn)室凈化空調(diào)方案
方案一:目前來說是凈化空調(diào)設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如初效過濾段、混合段、表冷段、中效過濾段、二次回風(fēng)段(或中間段)加濕段、加熱段、風(fēng)機(jī)段等。其中冷源主要由冷水機(jī)組提供。
方案二:相較于方案一,方案二是比較簡(jiǎn)單的潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)方案。不僅可以大大地縮小機(jī)房的面積,還可以讓水冷柜機(jī)根據(jù)具體的情況布置在較小的凈化車間內(nèi)或機(jī)房?jī)?nèi),同時(shí)還可以將增壓風(fēng)柜布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
方案三:主要用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車間,是簡(jiǎn)易的空調(diào)方案??芍苯訉⒎煮w空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來,在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。