美國西特Model 227超高純壓力變送器

美國西特Model 227超高純壓力變送器
Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式 “Block” 氣
體棒和面板設(shè)計，能夠滿足如今 300 mm 工具的要求。該
型號占用空間僅 11/8″，能節(jié)省寶貴的空間 ；結(jié)構(gòu)堅固，是
要求*穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測
量應(yīng)用于
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
的理想選擇。
與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同， Setra 227 型壓
力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計。所有接
液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋
光至 5 Ra（蕞大 7 Ra），確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕，實
現(xiàn)無污染氣體輸送。
227 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三種輸
出類型，精度達 ±0.25% FS 或 1.0% 讀數(shù)。該型號可選符
合工業(yè)標準的 11/8″帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力接
口，另外還可使用多芯電纜、 4 針卡口接頭和 9 針或 15 針
D-sub 接頭進行電氣連接。與 328 型 11/8″旋轉(zhuǎn)顯示屏配合
使用時， 227 型可實現(xiàn)理想的壓力測量和顯示。
零點和量程調(diào)整裝置位于旋轉(zhuǎn)保護罩下方的側(cè)面。用戶還
可選擇絕壓、表壓或復(fù)合壓測量范圍。
高性價比
227 型壓力變送器采用 Setra 磚利的可變電容技術(shù)，配有
316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地
構(gòu)成可變電容。當氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使
電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并基于磚利的電荷
平衡原理，通過 Setra *的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高
精度的線性直流電信號。
Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳
感技術(shù)制造，能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)
定的電壓或電流輸出信號。
表壓、復(fù)合壓、絕壓可選
PSI或BAR量程可選
11/8"下法蘭安裝
Setra   的227型傳感器于當今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block
氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價值的空間，其堅固的設(shè)計使
其非常適合那些要求*穩(wěn)定性、高精度和對惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測量應(yīng)
用。
與其它具有較大死端空泡體積的設(shè)計不同，227型具有一個方便洗滌的小排量
傳感器艙。所有濕潤部件均為優(yōu)質(zhì)VAR316LSS材料，電解拋光至5Ra（10
max.）的終飾。每一個傳感器都經(jīng)質(zhì)譜儀進行過高達1x10-9atm.cc/sec的氦
滲漏試驗。
可選擇5VDC、10VDC或4-20mA輸出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的讀數(shù)精度。227型配備了一個節(jié)省空間的11/8"C型密封件下安裝接口
底座，并可選擇多芯電纜、4針bayonet連接器和一個9針或15針D型連接器
用于電氣終端。加上327型的1-1/8"可旋轉(zhuǎn)顯示器，該產(chǎn)品包達到了壓力測量
及顯示的Ji致。
該*設(shè)計包括在旋轉(zhuǎn)保護蓋下面的側(cè)接近至零點及范圍調(diào)節(jié)，可選擇絕隊壓、
表壓或復(fù)合壓。
Setra   獲専利的可變電容傳感器的特點在于一個316L不銹鋼膜片和一個絕緣電Ji
板。在傳感器主體和電Ji板之間形成一個可變電容器。壓力的增加致使膜片略微
變圓，從而增加了電容。通過Setra   *的定制集成電路檢測電容值的變化，并
利用獲専利的電荷平衡原理將其轉(zhuǎn)換成高度精zhun的線性DC電信號。
Setra   的整個超高純系列均基于Setra   的被廣泛認可的電容傳感技術(shù)，高度精zhun和
穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號基本上可抑制電磁干擾/射頻干擾（EMI/RFI）。
應(yīng)用
模塊式1-1/8"氣體棒和面板
高純氣體傳輸系統(tǒng)
半導(dǎo)體工藝工具
好處
出色的穩(wěn)定性，可避免停機
抗EMI/RFI功能防止假停機
符合CE標準
UltraHighPurity(超高純應(yīng)用壓力傳感器)
我們提供所有Setra   產(chǎn)品的應(yīng)用幫助，其中包括人員幫助和文獻幫助，
而客戶有責任確定該產(chǎn)品的適用性。
227型的技術(shù)規(guī)格
性能數(shù)據(jù)
jing確RSS*（恒定溫度下）讀數(shù)±1.0%或±0.25%全量程
非線性，BFSL±0.15%全量程
滯后0.20%全量程
非重復(fù)性0.02%全量程
熱效應(yīng)
補償范圍oF（℃）+15至+150（-9到+65）
零點漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
范圍漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
加熱漂移0.1%全量程
在額定70oF下校驗過的設(shè)備。
根據(jù)此數(shù)據(jù)而計算的zui大溫度誤差。
環(huán)境數(shù)據(jù)
溫度
工作溫度*oF（℃）-40至+185（-40到+85）
儲存溫度oF（℃）-40至+185（-40到+85）
工作溫度僅是電子設(shè)備的溫度Ji限。
受壓媒介的溫度可能要高或低很多。
物理描述
外殼不銹鋼
電氣連接182.88cm.多芯電纜，Bayonet
連接器或D-型連接器
壓力接頭下安裝“C”型密封
通風通過零點和范圍接近孔
重量6.5oz（184g）
電氣數(shù)據(jù)（電壓）
電路3根導(dǎo)線（Exc、Out、Com）
激勵10至30VDC（5VFSO）
13至30VDC（10VFSO）
輸出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
電流消耗<8mA
校準精度為50Kohm負荷，可操作5000ohm或更大的負荷。
零點輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)（限5VDC輸出）
或±50mV（限10VDC輸出）。
范圍（全量程）輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)
（限5VDC輸出）或±50mV（限10VDC輸出）。
電氣數(shù)據(jù)（電流）
電路2根導(dǎo)線
輸出4至20mA
外部負荷0至800Ohm
zui大電源電壓（VDC）=10+0.02x（接收器正Ji導(dǎo)線的電阻）。
zui大電源電壓（VDC）=30+0.004x（接收器正Ji導(dǎo)線的電阻）。
出廠時以24VDC回路電壓和一個250ohm負荷，進行校準。
零點輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。
范圍（全量程）輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。
壓力媒介
與316L不銹鋼相兼容的液體或氣體。
產(chǎn)品規(guī)格如有變更，恕不另行通知。
外形圖
2.71
68.83
傳感器范圍及零點調(diào)節(jié)
0.26
66
0.81
20.57
1.13
28.70
Ø1.05
Ø26.67
1.23
31.24
15針D型
3.66
92.96
小排量傳感器艙
Ø1.00
Ø25.4
Ø0.86
Ø21.84
1.13
28.70
0.86
20.32
0.86
20.32
Ø0.19
Ø4.83
安裝孔
in
mm
2271E5
型號范圍壓力壓力接頭輸出電氣終端精度
2271=227025P=25PSI007B=7BAR
050P=50PSI017B=17BAR
100P=100PSI035B=35BAR
250P=250PSI070B=70BAR
500P=500PSI200B=200BAR
10CP=1000PSI
20CP=2000PSI
39CP=3000PSI
A=絕隊壓
C=復(fù)合壓
G=表壓
E5=下安裝“C”型密封
（1.125”底座）
11=4~20mA
2B=0~5VDC
2C=0~10VDC
33=0.2~5.2VDC
59=0.2~10.2VDC
06=6ft.多芯電纜
B1=4引腳Bayonet接頭
D9=9針D型接頭
D1=15針D型接頭
M1=5針微型DIN接頭
F=±0.25%全量
程（有檢定證
書）
J=±1.0%讀數(shù)
（有檢定證書）
訂購信息
寫出表格內(nèi)所有方框內(nèi)的代碼。
示例量程0至100PSIG，下安裝“C”型密封法蘭，輸出4-20mA，15針D連接器，讀數(shù)精度為±0.25%全量程的217型變送器，
其零件號為2271100PGE511D1F。