高分辨率UVK3紫外曝光機(jī)有一個*自動的紫外線曝光室,可產(chǎn)生角度小于2°的高度準(zhǔn)直的紫外線。使用UV LED,無需加熱或冷卻時間,并且LED燈的使用壽命超過10000小時。智能化的操作界面簡化了紫外曝光的操作過程,您只需要按照屏幕上的指示進(jìn)行操作即可。UVK3紫外曝光機(jī)的分辨率為2μm,可滿足95%的微流體應(yīng)用。
高分辨率UVK3紫外曝光機(jī)優(yōu)勢
(1)高分辨率低至2μm
(2)高紫外線功率曝光
(3)*可調(diào)的時間和功率
(4)易于使用
(5)提供軟光刻工藝的全部知識
技術(shù)的支持
我們?yōu)槲覀児?yīng)的所有設(shè)備提供高水平的技術(shù)的支持,同時也為紫外曝光前后的相關(guān)微加工步驟提供支持。除了在整個過程中幫助您提供一部分支持外,我們還可以在所有加工過程中為您提供指導(dǎo)。
技術(shù)規(guī)格
(1)UVK3通常適用于4英寸晶圓,但可用于較小的基板。
(2)可以使用塑料面罩粘貼在純硼硅玻璃上
(3)UVK3可與5英寸玻璃面罩配合使用,但如果需要,可添加4英寸適配器。
(4)UVK3可以以連續(xù)或脈沖的模式工作
(5)標(biāo)稱功率約為50mW/cm2,可根據(jù)用途在0%到之間進(jìn)行調(diào)整。
(6)設(shè)備內(nèi)部安裝有一個紫外線計(jì),可以隨時控制紫外燈的功率。
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