伊爾姆 P6Z-101 真空化學(xué)雜交泵是旋片泵與抗化學(xué)腐蝕隔膜泵的組合體。它通過抗化學(xué)腐蝕的隔膜泵吸出滯留在旋片泵內(nèi)的氣體，使腐蝕性氣體在旋片泵內(nèi)的時(shí)間和數(shù)量大幅減少，進(jìn)而大幅提高旋片泵的使用壽命，同時(shí)保留旋片泵制造的高真空。

伊爾姆 P6Z-101 真空化學(xué)雜交泵的主要特點(diǎn)是： 
•抗化學(xué)腐蝕能力強(qiáng)，適用于抽化學(xué)活性強(qiáng)的氣體和蒸汽
•耐蒸汽能力強(qiáng)，適用于在抽排過程中會(huì)產(chǎn)生大量蒸汽的場(chǎng)合
•配有減壓閥，確保雜交泵的使用安全
•配有油腔氣泡裝置，增大油的表面積，更快地釋放出油內(nèi)的殘留物質(zhì)
•配有液氣分離瓶，截留冷凝的液體
•旋片泵的極限真空能力不受影響，并大幅延長其使用壽命和維護(hù)間隔
•只用一個(gè)開關(guān)可同時(shí)開啟和關(guān)閉雜交泵

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