產品特點：
1.具有性能穩(wěn)定、性價比高、操作簡便、使用成本極低、易于維護的特點。
2.對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性。
3.**地清除樣品表面的有機污染物。
4.定時處理、快速處理、清洗效率高。
5.綠色環(huán)保、不使用化學溶劑、對樣品和環(huán)境無二次污染。
6.在常溫條件下進行超清洗，對樣品非破壞性處理。
技術參數:
1.真空腔規(guī)格: 不銹鋼腔體,直徑150mm*(深)200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金
3.電極尺寸：100*170mm
4.頻率：40KHz (可選配13.56MHz射頻等離子源)
5.功率：0-300W連續(xù)可調，精度1W,可在設備運行中隨時調整參數
6.氣體控制：針式氣體流量閥， 0-300ml 2路氣體
7. 真空計：電偶式真空計，精度：0.01mTor
8.控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)
應用領域：
半導體元件清洗：光學器件、電子元件、半導體元件、激光器件、鍍膜基片、終端安裝等的超清洗。
光學鏡片清洗：清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。
去除氧化物：移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質，去除金屬材料表面的氧化物。
芯片清洗：清洗生物芯片、微流控芯片、沉積凝膠的基片。
表面修飾：高分子材料表面的修飾。
封裝領域：封裝領域中的清洗和改性，增強其粘附性，適用于直接封裝及粘和。
改善粘合力：改善粘接光學元件、光纖、生物醫(yī)學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。
涂覆鍍膜：對玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性，使其活化，增強表面粘附性、浸潤性、相容性，顯著提高涂覆鍍膜質量。
牙科領域：對鈦制牙移植物和硅酮壓模材料表面的預處理，增強其浸潤性和相容性。
領域：修復學上移植物和生物材料表面的預處理，增強其浸潤性、粘附性和相容性及對科研的消毒和殺菌。
