Osaka干式螺桿真空泵,*無油運(yùn)作,適用于大多數(shù)潔凈制程;體積小以及操作簡單。
特點(diǎn)
排氣速度:50L⁄min、230L⁄min、500L⁄min 3種產(chǎn)品
極限壓力:DSP50:20Pa、DSP250 ⁄ 500:0.5Pa
潔凈排氣:沒有油蒸氣,粒子的逆流
無潤滑油:無同步齒輪,也不需要潤滑油
攜帶方便:小型,輕量,抗外部干擾
干式螺桿真空泵空冷規(guī)格
初期排氣時(shí)間短,大氣壓附近排氣速度快
低消費(fèi)電力設(shè)計(jì)
應(yīng)用
SEM,光刻
醫(yī)療設(shè)備
裝載室,搬送室排氣
分析儀器
加速器,離子源,電子槍的排氣
一般產(chǎn)業(yè)
PVD或R&D
技術(shù)規(guī)格
型號 | DSP50 | DSP250 | DSP500 | |
排氣速度(L/min) | 大 | 50 | 230 | 500 |
氣鎮(zhèn)開啟 | 36 | 200 | 430 | |
極限壓力(Pa) | 通常 | 20 | 0.5 | |
氣鎮(zhèn)開啟時(shí) | 200 | 2 | ||
法蘭連接 | 進(jìn)氣口 | KF16 | KF25 | KF40 |
排氣口 | RC1 | KF25 | ||
電源 | 電壓(V) | 100-240 | 100-230 | |
頻率(Hz) | 50/60 | |||
相數(shù) | 單相 | |||
容許電壓精度 | ±10% | |||
功率(W) | 極限壓力時(shí) | 230 | 240 | 270 |
大 | 380 | 600 | ||
冷卻方式 | 空冷 | |||
重量(Kg) | 9 | 15 | 20 |