環(huán)保在線>產(chǎn)品庫(kù)>機(jī)床/防腐/制冷/空分/超聲波>涂裝設(shè)備>涂裝生產(chǎn)線>>高真空單室熱蒸發(fā)系統(tǒng)

高真空單室熱蒸發(fā)系統(tǒng)

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2020/12/18 13:11:17
訪問(wèn)次數(shù)285

產(chǎn)品標(biāo)簽:

在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品點(diǎn)擊查看電話

索取相關(guān)資料

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國(guó)麻省理工學(xué)院的江曉平博士于
2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自*SYJ-150低速金剛石切割機(jī)誕生以來(lái)，沈陽(yáng)科晶便開始了以趕超國(guó)外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時(shí)至今日，已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品，可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要。

展開顯示更多內(nèi)容

自動(dòng)化設(shè)備

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

高真空單室熱蒸發(fā)系統(tǒng)

高真空單室熱蒸發(fā)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：高真空單室熱蒸發(fā)系統(tǒng)用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。

產(chǎn)品型號(hào)	高真空單室熱蒸發(fā)系統(tǒng)
主要特點(diǎn)	系統(tǒng)主要由真空室系統(tǒng)蒸發(fā)室、蒸發(fā)源系統(tǒng)、樣品臺(tái)系統(tǒng)、真空抽氣及測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、膜厚測(cè)試系統(tǒng)、上蓋液壓開啟機(jī)構(gòu)、電控系統(tǒng)組成。
技術(shù)參數(shù)	1、極限真空度5×10^-5Pa，系統(tǒng)漏率：1×10^-7PaL/S；恢復(fù)真空時(shí)間：40分鐘可達(dá)6.6×10 Pa（短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂箝_始抽氣） 2、真空室：圓形真空室，尺寸300× 350mm 3、樣品臺(tái)：尺寸為3英寸×3英寸，厚度3.2mm的平面樣品； 4、金屬電極：數(shù)量：1支，標(biāo)準(zhǔn)型釬焊間接水冷結(jié)構(gòu)；直徑Φ20㎜，內(nèi)水冷； 5、有機(jī)束源爐：數(shù)量：3支，標(biāo)準(zhǔn)型600度控溫，向上蒸發(fā)成膜； 6、樣品架：在基片轉(zhuǎn)盤上有1個(gè)基片位置放置樣品托（樣品托可以分別放置2英寸）孔安裝加熱爐。為了在2英寸基片臺(tái)范圍內(nèi)提高膜厚均勻性，基片在鍍膜位置實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)?；臏囟葟氖覝刂?00℃（硅片上表面的溫度，只需標(biāo)定一次即可）； 7、4套擋板系統(tǒng)：基片擋板與源擋板；靶擋板共有3套，動(dòng)密封手動(dòng)控制；樣品擋板（１套），磁力撥叉； 8、手動(dòng)控制氣路系統(tǒng):質(zhì)量流量控制器1路石英晶振膜厚控制儀：膜厚測(cè)量范圍0-999999Å 可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)。
標(biāo)準(zhǔn)配件
可選配件