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六源有機無機聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

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公司名稱沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
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廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2020/12/18 13:12:52
訪問次數(shù)276

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司是由畢業(yè)于美國麻省理工學(xué)院的江曉平博士于
2000年5月創(chuàng)建。與合肥科晶材料技術(shù)有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯(lián)盟。自*SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來，沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設(shè)備潮流為目標(biāo)的發(fā)展歷程。時至今日，已經(jīng)擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結(jié)、分析等領(lǐng)域以及相關(guān)耗材的上百種產(chǎn)品，可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復(fù)合材料、生物材料等制備分析的全套需要。

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自動化設(shè)備

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六源有機無機聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

六源有機無機聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜設(shè)備產(chǎn)品信息

六源有機無機聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜設(shè)備適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。OPV系列真空蒸發(fā)鍍膜與手套箱聯(lián)合系統(tǒng)的用戶群體為科研院所及實驗室，將真空蒸發(fā)系統(tǒng)工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環(huán)境中，PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，廣泛應(yīng)用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號

六源有機無機聯(lián)合蒸發(fā)鍍膜設(shè)備

主要特點

1、樣品在鍍膜過程中，帶有烘烤加熱功能烘烤加熱溫度為：室溫～180℃，測溫控溫。

2、設(shè)備帶有斷水?dāng)嚯娺B鎖保護報警裝置、防誤操作保護報警裝置。

技術(shù)參數(shù)

1、鍍膜室：鍍膜腔室尺寸約為600×450×450mm，不銹鋼材料，方形前后開門結(jié)構(gòu)，內(nèi)帶有防污板。
2、抽氣系統(tǒng)：采用分子泵+機械泵抽氣系統(tǒng)：
真空度：鍍膜室的極限真空≤6×10-4Pa；
系統(tǒng)漏率≤1×10-7PaL/s。

3、蒸發(fā)源系統(tǒng)：
   有機源蒸發(fā)源4個，容積5ml，2臺蒸發(fā)電源，可測溫控溫，加熱溫度400℃，功率0.5Kw；
   擋板：蒸發(fā)源擋板采用自動磁力控制方式，控制其開啟；
   安裝：蒸發(fā)源安裝在真空室的下底上。

4、樣品架系統(tǒng)：
樣品架可放置大小為Φ120mm的樣品，載玻片；

樣品架可旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速度為：0～30轉(zhuǎn)/分；
安裝：樣品安裝在真空室的上蓋上，蒸發(fā)源安裝在真空室的下蓋上，向上蒸發(fā)鍍膜，蒸發(fā)源都帶有擋板裝置。

7、 5、無機蒸發(fā)源2套、容積5ml，2臺蒸發(fā)電源，加熱電流300A，功率3.2Kw；
8、 6、石英晶振膜厚控制儀：膜厚測量范圍0-999999Å。