產(chǎn)品簡介:VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節(jié)約材料。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點,主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。
產(chǎn)品名稱 | VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機 | ||
產(chǎn)品型號 | VTC-100PA | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有進出水口 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。 3、氣:不需要 4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kgs以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | ||
主要特點 | 1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。 2、真空度可以達到-0.08MPa。 3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。 4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。 5、電機采用24V直流無刷電機,可靠性高,適應(yīng)性強,維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。 7、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實耐用且質(zhì)輕。 8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進行涂層。 9、全英文操作系統(tǒng)。 10、具有開蓋保護功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止。 11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機控制系統(tǒng),數(shù)值顯示更直觀可靠。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:220V 50HZ 2、電機功率:350W/24V 3、速度范圍:500rpm-10000rpm 4、程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段,每段時間范圍:0—60s。 5、增減速率設(shè)置范圍:100rpm/s-2000rpm/s 6、本機可選配加熱功能:1.VTC-100PA-II:RT-200℃的,整個腔體及吸盤都采用聚四氟乙烯材質(zhì),更耐高溫與腐蝕。 2.VTC-100PA-I:RT-100℃的,吸盤采用聚四氟乙烯材質(zhì),上蓋及水槽采用聚丙烯材質(zhì) 3.溫度使用獨立的控制器,與主機程序控制無關(guān)聯(lián) | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:450mm×280mm×340mm;重量:20kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤(含O型圈)
| 2個(Ø19mm和Ø60mm) |
2 | 中心定位器(含4個定位柱)
| 1個 | |
3 | 滴膠注射器(20ml)
| 1個 | |
4 | 注射器支架 | 1個 | |
5 | 無油真空泵
| 1臺 | |
6 | 橡膠管(含卡箍) | 1根 | |
可選配件 | 進口移液器
國產(chǎn)移液槍
其它尺寸的真空吸盤
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