日本sanyu electron臺式快速涂布機(jī)SC-701MC
特征
使用磁控管陰極以減少離子損傷
排氣→涂層→全自動,直到進(jìn)入大氣
磁控管陰極有助于生產(chǎn)高質(zhì)量的濺射薄膜
電極的濺射薄膜可以很容易地涂覆
應(yīng)用/結(jié)果示例
各種設(shè)備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等的應(yīng)用
日本sanyu electron臺式快速涂布機(jī)SC-701MC
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸直流磁控管/ 2極面對電極 |
目標(biāo) | 包含金靶 |
膜厚設(shè)定方法 | 預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 |
氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥 |
真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏) |
排氣操作 | 自動的 |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm x D120 mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開合式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:225/420 / 320mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:15公斤 RP:9公斤 |