日本YAMABUN山文電氣臺(tái)式離線分光干涉式測(cè)厚儀TOF-S
產(chǎn)品特點(diǎn)
實(shí)現(xiàn)高測(cè)量重復(fù)性(± 0.01 μm 或更小,取決于對(duì)象和測(cè)量條件)
不易受溫度變化的影響
可以生產(chǎn)用于研究和檢查的離線式和在制造過(guò)程中使用的在線式。
反射型允許從薄膜的一側(cè)進(jìn)行測(cè)量
僅可測(cè)量透明涂膜層(取決于測(cè)量條件)
模型 飛行時(shí)間 測(cè)量方法 非接觸式/光譜干涉式 測(cè)量對(duì)象 電子和光學(xué)用透明平滑膜、多層膜 測(cè)量原理 光譜干擾型 日本YAMABUN山文電氣臺(tái)式離線分光干涉式測(cè)厚儀TOF-S
產(chǎn)品規(guī)格
測(cè)量厚度 1~50μm(薄材料)、10~150μm(厚材料) 測(cè)量長(zhǎng)度 50-5000 毫米 測(cè)量間距 1 毫米 ~ 小顯示值 0.001微米 電源電壓 AC100 V 50/60 Hz 工作溫度限制 5~45℃(測(cè)量時(shí)溫度變化1℃以內(nèi)) 濕度 35-80%(無(wú)冷凝) 測(cè)量區(qū)域 φ0.6 毫米 測(cè)量間隙 約 30 毫米