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XTrace-基于SEM高性能微區(qū)熒光光譜儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京歐波同
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/6/29 17:15:02
  • 訪問次數(shù)251
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北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司,是一家具有外資背景的多元化科技集團(tuán)公司,實驗室解決方案服務(wù)商。歐波同成立于2003年(總部位于香港),旗下?lián)碛锌茖W(xué)儀器、實驗室智能解決方案、第三方檢測服務(wù)、標(biāo)樣等四大業(yè)務(wù)板塊。公司經(jīng)過十多年的發(fā)展已經(jīng)與德國蔡司(ZEISS)公司、美國Gatan公司、英國Bright公司等多家品牌建立戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系,公司總營業(yè)額超6億,旗下員工300余人。 作為中國材料分析領(lǐng)域的企業(yè),北京歐波同光學(xué)技術(shù)有限公司擁有覆蓋全國的技術(shù)服務(wù)及運(yùn)營網(wǎng)絡(luò),在香港、北京、上海、遼寧、山東、河南、陜西、湖北、四川、江蘇、廣東等地設(shè)有分公司和代表處。自成立以來,公司引進(jìn)進(jìn)的營銷服務(wù)理念并切合中國市場實際,了一套彰顯行業(yè)特色的RSP營銷服務(wù)模式。在不斷推動行業(yè)發(fā)展、技術(shù)創(chuàng)新的同時,歐波同與各行業(yè)客戶建立了良好的合作伙伴關(guān)系,分別在高校、科研院所以及航天航空、冶金、機(jī)械、化工、電子、石油、地礦、新能源、新材料等多個領(lǐng)域深耕細(xì)作, 正在為數(shù)以萬計的國內(nèi)外用戶提供高品質(zhì)的產(chǎn)品與技術(shù)服務(wù)! 歐波同理解行業(yè)之需,以人才、服務(wù)、科技與規(guī)模,為客戶創(chuàng)造非凡業(yè)績。公司于2011年打造了中國規(guī)模優(yōu)秀的顯微鏡產(chǎn)品分析及體驗中心,為中國客戶提供了一個“開放、分享、合作、共贏”的綜合互動平臺;2016年成立了“歐波同材料分析研究中心”,致力于為客戶提供有競爭力的應(yīng)用解決方案,推動中國質(zhì)量控制與科研水平的發(fā)展與提升! 歐波同“感恩、拼搏、高效、創(chuàng)新”的企業(yè)文化和科學(xué)的規(guī)范管理,凝聚了大量的優(yōu)秀人才。公司擁有專業(yè)的市場、營銷、研發(fā)和技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊,為歐波同的高速發(fā)展增添了不竭動力。如今的歐波同從商海大浪中走來,意氣風(fēng)發(fā),;在未來,歐波同將一如既往致力于材料分析技術(shù)的創(chuàng)新與發(fā)展,與國內(nèi)外客戶共同開創(chuàng)世界科技發(fā)展的未來。
X射線衍射儀,能散型XRF
XTrace-基于SEM高性能微區(qū)熒光光譜儀
XTrace-基于SEM高性能微區(qū)熒光光譜儀 產(chǎn)品信息


            XTrace是一款可搭配在任意一臺具有傾斜法蘭槽 SEM上的微焦點(diǎn)X射線源。利用該設(shè)備可使SEM具備完整意義上的微區(qū) XRF光譜分析能力。對于中等元素至重元素范圍內(nèi)的元素,其檢測限提高了 20-50倍。此外,因為X射線的信號激發(fā)深度深于電子束,利用該設(shè)備還可以檢測更深層次樣品的信息。


          本設(shè)備采用了X射線毛細(xì)導(dǎo)管技術(shù),利用該技術(shù),即使在非常小的樣品區(qū)域也能產(chǎn)生很高的熒光強(qiáng)度。X射線毛細(xì)導(dǎo)管將X射線源的大部分射線收集,并將其聚焦成直徑35微米的一個X射線點(diǎn)。
          利用QUANTAX EDS*系統(tǒng)的 XFlash®系列電制冷能譜探頭即可對所產(chǎn)生的X射線熒光光譜進(jìn)行采集。 XFlash®電制冷能譜探頭使整個系統(tǒng)具備了非常高的能量分辨率,同時兼具了強(qiáng)大的信號采集能力。比如,利用有效面積 30 mm2的探頭在分析金屬元素時的輸入計數(shù)率可達(dá) 40 kcps。
          X射線毛細(xì)導(dǎo)管技術(shù)使熒光強(qiáng)度得到極大的增強(qiáng),同時,熒光光譜的背底較低,這些都提高了系統(tǒng)對痕量元素的敏感度。相較于電子束激發(fā)的信號,其檢測限可提高 20-50倍。而且,因為X射線源激發(fā)信號對于高原子序數(shù)元素更有效,所以高原子序數(shù)元素檢測限可提高至 10ppm。
           QUANTAX能譜儀系統(tǒng)和微區(qū)熒光光譜儀系統(tǒng)可在同一用戶界面內(nèi)結(jié)合使用,從而互相補(bǔ)強(qiáng),實現(xiàn)定量分析結(jié)果的化。

    用戶友好型設(shè)計
    聚焦于分析任務(wù),而非繁瑣的系統(tǒng)設(shè)置

           利用ESPRIT HyperMap進(jìn)行面分布分析的同時采集了所有的數(shù)據(jù)并存儲,便于后續(xù)的離線分析。
           樣品可利用 EDS系統(tǒng)和 micro-XRF系統(tǒng)并行進(jìn)行分析,而無需任何的樣品移動。
           兩種分析方法無縫整合在同一分析軟件 ESPRIT中,切換分析方法只需輕點(diǎn)鼠標(biāo)。
           XTrace不會干擾任何 SEM及EDS操作。
    僅需點(diǎn)滴投入,即可獲得獨(dú)立微區(qū)熒光光譜儀的強(qiáng)大功能
           分析結(jié)果可與獨(dú)立系統(tǒng)媲美。
           樣品傾斜后可對更大區(qū)域進(jìn)行面分布
           提供三個初級濾片以壓制衍射峰
           直接利用掃描電鏡樣品臺,無需其他的樣品臺裝置。
           通過掃描電鏡樣品臺的旋轉(zhuǎn)輕松避免譜圖中衍射峰的出現(xiàn)。
           可傾斜樣品以獲得最小束斑直徑。


    樣品傾斜前后分辨率比較
    (樣品:鉻星狀線條掃描步長: 25 µm左圖:樣品臺未傾斜右圖:樣品臺傾斜 30°以朝向X射線源,顯示了更好的空間分辨率。)


    原理圖


    應(yīng)用實例
          XTrace極大地擴(kuò)展了掃描電鏡元素分析的靈活性。其應(yīng)用領(lǐng)域包括元素分析(金屬、催化劑等),法醫(yī)學(xué)(涂料、玻璃、槍擊殘留物等),地質(zhì)學(xué)及其它很多領(lǐng)域。
    多層樣品的表征
          利用XTrace對多層樣品進(jìn)行分析具有特別的優(yōu)勢。因為多層樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,僅僅利用能譜儀可能無法觀測到其中的部分結(jié)構(gòu)。

    銅的單一元素分布圖
    (樣品:PCB多層板左圖:光學(xué)圖像;右圖:二次電子圖像)


    (左圖: 二次電子圖像區(qū)域中銅元素的微區(qū)熒光光譜面分布圖。白色矩形區(qū)域為右圖能譜儀面分布分析區(qū)域。右圖: 二次電子圖像與能譜儀銅元素面分布圖疊合圖像。白色箭頭所指區(qū)域為焊點(diǎn),其在微區(qū)熒光光譜面分布圖中可見,但能譜面分布圖中卻觀察不到這些焊點(diǎn)。出現(xiàn)這種差異的原因在于X射線所激發(fā)出信號的深度更深。 )


    樣品的多重元素分布圖
    (Micro-XRF (左)和EDS (右) 的多重元素面分布圖。圖中顯示了 Cu元素、 Ba元素、 Au元素和Al元素。從兩圖對比可以看出,Au元素存在的位置遠(yuǎn)比能譜儀元素面分布圖中所顯示的多。)


    窮竭其里,讓掃描電鏡能做的更多


    (銅合金照片(左)及其 XRF譜圖和EDS譜圖的比較(右)。從紅色XRF譜圖中可看到該樣品中存在很多的痕量元素。從 XRF譜圖的定量分析結(jié)果可知該樣品為黃銅 (CuZn33)。)


    可靠性更高的金屬和合金鑒別
           微區(qū)XRF的高敏感性使其非常適合于合金,尤其是金屬小顆粒,比如發(fā)動機(jī)磨損產(chǎn)生的碎片等物質(zhì)的分析及鑒定。
    PCB板元件及電路的分析
           利用XRF對于痕量元素的高靈敏度及信號激發(fā)深度的長處來分析此類樣品具有特別的優(yōu)勢。 PCB板可能含有被 RoHS指令禁止的有害元素。這些元素可以被微區(qū) XRF更可靠地檢測出來,特別是 RoHS等指令要求設(shè)備具有非常低的檢測限。
    聚合物中的金屬及有害元素
           聚合物通常被工程采用以實現(xiàn)特定的目的。其中就包含了利用金屬和礦物作為添加物來實現(xiàn)工程目的。利用 XTrace即可探測聚合物中的添加物并表征出其面分布情況。比如, RoHS指令中對玩具類商品的檢測。


    PCBd的微區(qū)XRF和EDS面分布分析
    (對于同一 PCB樣品區(qū)域的微區(qū) XRF (上圖) 和EDS (下圖)元素面分布圖。兩種分析均采用同一顏色標(biāo)識同一元素。兩幅圖中可觀察到的不同顏色差異來自于X射線對于樣品更深的穿透深度。銅元素明顯地富集在更深的結(jié)構(gòu)層。微區(qū) XRF面分布圖中的陰影來自于相對于樣品表面傾斜的X射線源與樣品表面凹凸不平的形貌特征。陰影效應(yīng)可通過樣品傾斜朝向X射線源以減少影響。) 


    聚合物的圖像及譜圖
    一種用于金屬及有害元素檢測測試的標(biāo)準(zhǔn)有機(jī)物光學(xué)圖像照片?(左) 和譜圖 (右)。微區(qū) XRF譜圖?(紅色) 顯示了 Ni、Hg、Pb及 Br等痕量元素的存在。而這些元素利用 EDS? (藍(lán)色) 均無法探測出來。兩種譜圖的采集條件相同,均為輸入計數(shù)率 6 kcps的情況下采集了300秒。


    熟悉的操作界面
          XTrace分析軟件與布魯克其它微分析設(shè)備軟件 EDS, WDS和EBSD一起集成在 ESPRIT軟件中。該集成軟件為用戶提供了的便利性
         (1)所有的分析工具操作均在同一界面下進(jìn)行
         (2)不同分析工具間的操作切換只需輕點(diǎn)鼠標(biāo)
         (3)對已同一樣品位置可實現(xiàn)不同分析方法的直接應(yīng)用,無需任何樣品移動
         (4)可將不同分析方法取得的結(jié)果輕松整合在一起
           對于XTrace用戶來說,另一個特別的優(yōu)勢就是用戶可以將 EDS和微區(qū) XRF的定量分析結(jié)果互相結(jié)合以得到更可靠的定量分析結(jié)果。
    至強(qiáng)組合 – XRF和EDS定量方法結(jié)合以得到更準(zhǔn)確的結(jié)果
          ESPRIT對微區(qū) XRF譜圖進(jìn)行分析時采用了一種*的無標(biāo)樣基礎(chǔ)參數(shù)法 (Fundamental Parameter,F(xiàn)P)以得到準(zhǔn)確、可靠的定量分析結(jié)果。當(dāng)然,還可利用校準(zhǔn)標(biāo)樣進(jìn)行進(jìn)一步的優(yōu)化。
          利用ESPRIT軟件可同時使用微區(qū) XRF和EDS的定量結(jié)果,從而使兩種分析方法的優(yōu)勢均得以體現(xiàn)。對于輕元素, EDS定量分析結(jié)果很可靠;同時,微區(qū) XRF在分析中等元素或重元素時其檢測限低至 10 ppm。這就意味著利用 ESPRIT軟件將 EDS和微區(qū) XRF的定量結(jié)果結(jié)合以后,可得到迄今為止所有其它能量色散譜儀從未得到過的精確結(jié)果。



    靈活的分析手段
          本系統(tǒng)除可利用掃描電鏡樣品臺的移動進(jìn)行點(diǎn)分析和線掃描外,還可進(jìn)行單幅或多幅XRF面分布分析。面分布數(shù)據(jù)存儲在超級面分布數(shù)據(jù)庫 (ESPRIT HyperMap)中,在該數(shù)據(jù)庫中存儲著每個點(diǎn)完整的譜圖數(shù)據(jù)。利用該數(shù)據(jù)庫,可在任意時間進(jìn)行任何想要的離線分析。
    點(diǎn)分析
          將鼠標(biāo)十字光標(biāo)置于超級面分布圖上的任意一點(diǎn)后,在譜圖欄即會出現(xiàn)該點(diǎn)的譜圖。這樣,方便用戶快速確定目前位置的元素組分情況。
    線掃描
          在超級面分布圖上任意選擇一條線,即可得到該條線上的元素分布情況,可以是定性性質(zhì)的線掃描分布圖,也可以是定量性質(zhì)的線掃描分布圖。
    選區(qū)分析
          在超級面分布圖上也可以進(jìn)行選區(qū)分析,在圖上選擇任意的形狀后,比如矩形、橢圓形等等,該區(qū)域內(nèi)的所有點(diǎn)的成份信息會集成顯示在同一個譜圖中。
    相分析
          面分布分析的結(jié)果有時候非常復(fù)雜且難于解釋,特別是樣品中存在多種元素時。此時,利用 ESPRIT自動相分析工具可鑒別出組分相似的區(qū)域并將其歸納為樣品中不同的化學(xué)相。



    *XTrace requires a pre-installed QUANTAX energy-dispersive X-ray spectrometer (EDS), consisting of XFlash® silicon drift detector, SVE signal processing unit and system PC.


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