公司介紹:
NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學(xué)配件的研發(fā)與銷售經(jīng)驗。在范圍內(nèi),通過與眾多來自同步輻射科學(xué),阿秒科學(xué),高強(qiáng)度物理學(xué)等領(lǐng)域的科學(xué)研究者開展緊密合作,積累了大量*的設(shè)計與制造技術(shù),其產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)享有很高的評價。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率,高聚光效率等特點,適合被各種輻射光設(shè)施使用。另外,分辨率測試卡被當(dāng)作業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)。不只是學(xué)術(shù)研究,在X射線的檢查裝置開發(fā)現(xiàn)場也被廣泛使用。XUV鏡片,XUV濾波片不僅對阿秒科學(xué)有著幫助,對下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領(lǐng)域給予客戶在研發(fā)上的幫助。
產(chǎn)品介紹:
· 反射型。
· 可提供圖案:線寬和縫寬80 nm以下。其他圖案還在研發(fā)中。
· 線上可以加工“缺口”,線之間可以加工“橋接”用于標(biāo)記。
· 由于設(shè)計靈活,所以性能更高,成本也更低。
· 正在開發(fā)50 nm及以下的線縫和縫寬圖案。在有限條件下,可以提供圖案分辨率樣本。