SC26

產(chǎn)品名稱(chēng)：電鏡屏蔽/主動(dòng)消磁系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：SC26
品 牌：英國(guó)SpicerConsulting
產(chǎn) 地：英國(guó)

產(chǎn)品參數(shù)

晶片傳輸機(jī)器人在300 mm的晶片中活動(dòng)，會(huì)產(chǎn)生9 KHz的磁場(chǎng)，會(huì)限制電子束的性能，以及下一個(gè)半導(dǎo)體CD節(jié)點(diǎn)。SC26是一種寬帶消磁系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)從DC到9 KHz以上范圍的磁場(chǎng)消除。為了實(shí)現(xiàn)寬帶消磁，SC26采用低電感場(chǎng)消除電纜，安裝在電子束工具附件中。

SC26具有2個(gè)200 KHz的AC磁場(chǎng)傳感器（藍(lán)色），可以耦合，優(yōu)化電子束性能，對(duì)于低至10 Hz的磁場(chǎng)具有良好效果。也可以用于DC磁場(chǎng)消除，只需每個(gè)通道添加一個(gè)SC24/DC+AC傳感器和一個(gè)傳感組合器。

SC26并不像SC24那樣安裝使用，不能用粗線纜構(gòu)建一個(gè)房子結(jié)構(gòu)，從而獲得較低的磁場(chǎng)。

在電子束300 mm的范圍內(nèi)獲得良好的消磁效果

實(shí)時(shí)、寬帶消磁，從DC到9 KHz以上磁場(chǎng)

磁場(chǎng)躍變響應(yīng)速度：10μs以內(nèi)
通過(guò)穩(wěn)定磁場(chǎng)環(huán)境確保您購(gòu)置的電子束科技設(shè)備應(yīng)有性能
消除和監(jiān)測(cè)交流磁場(chǎng)
自動(dòng)運(yùn)行，連續(xù)實(shí)時(shí)補(bǔ)償磁場(chǎng)

完整的X, Y, Z三軸消磁系統(tǒng)
可消除場(chǎng)強(qiáng)高達(dá)60mG (6.0 μT) pk-pk智能用戶界面，顯示系統(tǒng)需為3.5英寸以上LCD TFT 彩色面板,其參數(shù)設(shè)定及操作皆為微電腦控制

可同時(shí)顯示AC和DC磁場(chǎng)值，單位可選高斯或者特斯拉
當(dāng)X&Y&Z軸磁場(chǎng)檢出<RMS250uG RMS 時(shí)OK綠色指示燈會(huì)亮
高靈敏度傳感器，可精確反饋環(huán)境磁場(chǎng)變化；支持雙傳感器，用于抵消TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場(chǎng)
USB監(jiān)控端口
本設(shè)備為免校正儀器,其內(nèi)部的自我歸零功能會(huì)自動(dòng)校正
低成本高性能系統(tǒng)