超純水處理系統(tǒng)在百級無塵室設計案例
項目背景:該超純水處理系統(tǒng)應用于百級無塵室內(nèi)中,該項目對超純水處理要求高,原水水質(zhì)為企業(yè)自來水要求,出水要求要達到百級芯片清洗水。進水經(jīng)過預處理工藝,要進入二級反滲透膜工藝,對水質(zhì)進行除鹽過濾。同時,要進行EDI深度除鹽處理設計,在末端再經(jīng)過TOC脫除器脫除有機物以及拋光混床進一步精處理,最終經(jīng)過超濾膜過濾后,出水水質(zhì)就可以滿足用水點的水質(zhì)要求。
項目工藝:
水質(zhì)要求:超純水的水質(zhì)指標要求:電導率≥18兆歐、TOC<3ppb、particle(≥0.1um)<3pcs/mL
現(xiàn)場照片:
項目實施:2020年5月進場,7月份完成建設并投入運行。