等離子體電流 | 0-30 mA |
功率 | 30W |
輝光放電頭極性 | 正極負(fù)極可續(xù) |
樣品臺(tái) | Ø75mm,可存放25 x 75mm玻片 |
樣品臺(tái)高度 | 1-25 mm可調(diào) |
處理延遲時(shí)間 | 0-14411 sec. |
處理時(shí)間 | 0-900 sec. |
樣品室大小 | Ø120 x 100mm 高 |
進(jìn)氣孔 | 2 個(gè)Ø6 mm 進(jìn)氣孔 |
高壓真空聯(lián)鎖 | 硬件,軟件雙重聯(lián)鎖 |
真空控制 | Pirani 規(guī)控制, 真空范圍:大氣壓~0.01 mbar |
工作真空范圍 | 1.1 - 0.20 mbar |
系統(tǒng)顯示 | 具有LED燈光的3" 觸摸,并且有5個(gè)功能鍵 |
操作模式 | 自動(dòng)編程 (可編4個(gè)用戶程序) |
尺寸 | 305 長(zhǎng) x 292 寬 x 230mm 高 |
重量 | 6.26 kg |
GD4真空泵(可選) | 337 長(zhǎng) x 138 寬 x 244mm 高 |
重量 | 11 kg |
真空泵性能 | 2.5 m3/hr, 極限真空0.03 mbar |
電源要求 | 230V 50Hz, 10A |