薄膜厚度測(cè)量范圍 (Thickness Range): 1 nm - 1.8 mm
波長(zhǎng)范圍 (Wavelength Range): 200 nm - 1700 nm
精度 (Precision): <0.01 nm or 0.01%
穩(wěn)定性 (Stability): <0.02 nm or 0.03%
光斑大小 (Spot Size): Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm)
功能: 測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù),反射率和透過(guò)率
單層膜或多層膜疊加層; 適用于幾乎所有透明,半透明,低吸收系數(shù)的薄膜測(cè)量,包括液態(tài)膜或空氣層。
測(cè)試條件: 平面或曲面
可配XY平臺(tái)實(shí)現(xiàn)全樣品膜厚 mapping
FT-100 薄膜厚度測(cè)量?jī)x
FT-100 薄膜厚度測(cè)量?jī)x
薄膜厚度測(cè)量范圍 (Thickness Range): 1 nm - 1.8 mm
波長(zhǎng)范圍 (Wavelength Range): 200 nm - 1700 nm
精度 (Precision): <0.01 nm or 0.01%
穩(wěn)定性 (Stability): <0.02 nm or 0.03%
光斑大小 (Spot Size): Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm)
功能: 測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù),反射率和透過(guò)率
單層膜或多層膜疊加層; 適用于幾乎所有透明,半透明,低吸收系數(shù)的薄膜測(cè)量,包括液態(tài)膜或空氣層。
測(cè)試條件: 平面或曲面
可配XY平臺(tái)實(shí)現(xiàn)全樣品膜厚 mapping
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可集成于以上測(cè)試平臺(tái) ( 三維輪廓儀,微納米壓痕/劃痕儀,摩擦磨損儀等)