Transpector MPH 殘余氣體分析儀
監(jiān)控您的過(guò)程
的性能有助于提高產(chǎn)量并實(shí)現(xiàn)最長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間
持續(xù)升高的硅晶圓價(jià)格和成品需求意味著損壞晶圓的代價(jià)比以前更高。因此，在半導(dǎo)體制造中心了解過(guò)程并監(jiān)測(cè)缺陷也變得更加重要。Transpector
MPH 氣體分析系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)用于讓您的系統(tǒng)在所有氣體分析應(yīng)用中都實(shí)現(xiàn)業(yè)內(nèi)的性能，有助于限度地提高芯片產(chǎn)量，降低工具停工時(shí)間。Transpector MPH
兼具較低總體擁有成本和較長(zhǎng)故障平均間隔時(shí)間的特性，有助于讓您的盈虧底線優(yōu)于市場(chǎng)上的所有其他殘余氣體分析儀 (RGA)。
INFICON
發(fā)揮其在氣體分析過(guò)程控制設(shè)備領(lǐng)域的專(zhuān)長(zhǎng)，制造的 RGA 擁有業(yè)內(nèi)的數(shù)據(jù)采集速度、可檢測(cè)分壓和最小的信噪比。所有這些特性都不會(huì)犧牲 INFICON
Transpector 氣體分析儀一貫出色的可靠性。
功能
· 模擬掃描和所選峰值的 1.8 ms 每點(diǎn)數(shù)據(jù)率
· TCP/IP 以太網(wǎng)連接
· 雙絲極
· 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
· 組合陽(yáng)極、陰極和反射極絲極套件
· 較短的傳感器可降低安裝占地面積
· 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
· <2E-15 Torr 的 MDPP（100 amu 型號(hào))
· 信噪比更高
· 可調(diào)換傳感器和電子元件
· 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
規(guī)格
類(lèi)型 | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
傳感器長(zhǎng)度 | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | 14.3 cm | 19.3 cm | |
質(zhì)量范圍 | 100 amu | 100 amu | 200 amu | 200 amu | 300 amu | 300 amu | |
檢測(cè)器類(lèi)型 | FC | FC/EM | FC | FC/EM | FC | FC/EM | |
靈敏度 (FC) | 6E-4 A/Torr | 6E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 5E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | 4E-4 A/Torr | |
靈敏度 (EM) | NA | 500 A/Torr | NA | 500 A/Torr | NA | 250 A/Torr | |
最小可檢測(cè)分壓 | 3E-13 Torr | 2E-15 Torr | 4E-13 Torr | 3E-15 Torr | 5E-13 Torr | 4E-15 Torr | |
傳感器工作溫度(FC) | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | 200°C | |
傳感器工作溫度(EM) | NA | 150°C | NA | 150°C | NA | 150°C | |
絲極類(lèi)型選件 (1) | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | Y2O3/Ir | |
絲極類(lèi)型選件 (2) | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | Tungsten | |
分辨率（整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)） | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | <1 amu wide (3) | |
溫度系數(shù) | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | <1% of peak height/°C | |
每點(diǎn)數(shù)據(jù)率 | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | 1.8 ms | |
零沖擊（@ 質(zhì)量 2） | <5 ppm | <5 ppm | <65 ppm | <65 ppm | <100 ppm | <100 ppm | |
工作壓力 | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | 5E-4 Torr | |
烘烤溫度 | °C°F | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 | 300 |
功率輸入 | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | 20-30 VDC | |
(1) 用于普通應(yīng)用
(2) 用于鹵素環(huán)境應(yīng)用
(3) 位于峰值高度的 10%
