安徽歌博科技A500型干泵氦質(zhì)譜檢漏儀，靈敏度高、操作便捷、低維護(hù)，使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、半導(dǎo)體、半導(dǎo)體氣柜，光伏等行業(yè)。

功能描述

支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏

自動(dòng)跟蹤本底，提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果

優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)

高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴?/span>

支持氮?dú)馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底

機(jī)器的性能支持7*24小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試

機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測(cè)試

配有檢漏口精細(xì)過濾器，過濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷

雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，防大氣沖擊

支持定制檢漏工作臺(tái)，更加便捷使用

技術(shù)參數(shù)

最小可檢漏率（負(fù)壓模式）  5×10-13Pa?m3/s 

最小可檢漏率（正壓模式）  1×10-8Pa?m3/s

檢漏口壓強(qiáng)               粗檢          1500Pa

                         中檢          200Pa

                         精檢          40Pa

響應(yīng)時(shí)間                               ＜0.5s

啟動(dòng)時(shí)間                               ≤2min

前級(jí)渦旋干泵抽速                      10m3/h  

外形尺寸（W×D×H）               845×465×988

重量                                   73Kg

尺寸圖

常見泄漏率

檢漏方法示意圖