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多光子聚合3D納米光刻機(jī)

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  • 公司名稱北京波威科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/8/19 13:38:15
  • 訪問次數(shù)1424
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北京波威科技有限公司坐落于北京海淀中關(guān)村高科技園區(qū),是一家集生產(chǎn)、研發(fā)、銷售及代理為一體的光電領(lǐng)域的高科技技術(shù)服務(wù)公司。 產(chǎn)品涉及激光、光電子、光通訊、光學(xué)、物理、電子和生物等多個學(xué)科領(lǐng)域,可廣泛應(yīng)用于教學(xué)、科研、產(chǎn)品開發(fā)及規(guī)模生產(chǎn)。業(yè)務(wù)范圍覆蓋了國內(nèi)各大所屬各研究所、航天科工/科技集團(tuán)所屬研究所、中電集團(tuán)所屬研究所、所屬各研究所等不同系統(tǒng)內(nèi)的研究機(jī)構(gòu)及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)的高科技公司。 波威公司始終堅(jiān)持高起點(diǎn),高要求,與一線生產(chǎn)廠商攜手,做到產(chǎn)品在技術(shù)上秉承嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)態(tài)度,務(wù)實(shí)的工作作風(fēng),誠實(shí)的經(jīng)營理念,與廣大客戶攜手共創(chuàng)美好明天! 我們的產(chǎn)品有:固體激光器、半導(dǎo)體激光器、可調(diào)諧激光器、光纖激光器、窄線寬激光器、激光測量儀器與配件、太赫茲、高速光電探測器、紫外探測器、紅外探測器、超快探測器、焦平面陣列探測器、科學(xué)相機(jī)、光譜儀、高光譜成像系統(tǒng)、光束質(zhì)量分析儀、空間光調(diào)制器、聲光調(diào)制器、電光調(diào)制器、高速光開關(guān)、光發(fā)大器、光衰減器、可調(diào)諧濾波器、波長轉(zhuǎn)換器、高溫光纖、紅外光纖、能量光纖、微波放大器、微波元器件、光學(xué)透鏡等光電類產(chǎn)品。
近紅外光譜儀
nSCULPTOR是用于納米結(jié)構(gòu)加工的3D激光光刻系統(tǒng),基于多光子聚合(mPP)技術(shù),適用于市場上常見光阻材料??梢约庸ず蜕a(chǎn)納米精度和分辨率的三維結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)可以有效配套市場上常見的光刻膠,實(shí)現(xiàn)納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結(jié)構(gòu)加工。系統(tǒng)將整個加工過程整合到一起,包括3D模型的創(chuàng)建和制備,激光直寫,后期處理。產(chǎn)品特點(diǎn):·一體化解決方案·100nm-10um分
多光子聚合3D納米光刻機(jī) 產(chǎn)品信息

詳細(xì)信息

nSCULPTOR是用于納米結(jié)構(gòu)加工的3D激光光刻系統(tǒng),基于多光子聚合(mPP)技術(shù),適用于市場上常見光阻材料??梢约庸ず蜕a(chǎn)納米精度和分辨率的三維結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)可以有效配套市場上常見的光刻膠,實(shí)現(xiàn)納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結(jié)構(gòu)加工。系統(tǒng)將整個加工過程整合到一起,包括3D模型的創(chuàng)建和制備,激光直寫,后期處理。

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

·   一體化解決方案

·   100nm-10um分辨率

·   復(fù)雜3D物體

·   不同的聚合物

·   占地面積小

 

產(chǎn)品應(yīng)用:

·   納米光子器件(3D光子晶體)

·   微流控

·   微光學(xué)器件(透鏡,光纖結(jié)構(gòu))

·   微型機(jī)械

·   微型光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS

·   生物醫(yī)學(xué)

 

多光子聚合3D納米光刻機(jī)是一套基于多光子聚合(mPP)技術(shù)專業(yè)為制備微納結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)的3D激光光刻系統(tǒng)。系統(tǒng)可以有效配套市場上常見的光刻膠,實(shí)現(xiàn)納米精度和分辨率的模型制作以及各種三維立體結(jié)構(gòu)加工。

 多光子聚合3D納米光刻機(jī) 

所有的加工過程都被集成到到同一系統(tǒng)中:3D模型準(zhǔn)備,激光直寫,后期處理

 

3D模型準(zhǔn)備

SCA激光微加工軟件控制系統(tǒng)運(yùn)行并且可以準(zhǔn)備簡單地3D模型。

此外 ,也可以使用設(shè)計(jì)軟件(例如Autodesk AutoCAD)設(shè)計(jì)3D模型,然后導(dǎo)入到SCA中,SCA支持*.stl, *.dxf格式的3D模型設(shè)計(jì)文件。最后將將模型文件導(dǎo)入到SCA上,準(zhǔn)備進(jìn)行 3D激光光刻。

 

激光直寫

激光直寫是由飛秒激光光源,精確3軸定位和掃描振鏡操作執(zhí)行3D聚合過程。

首先,待刻模型通過精密定位激光聚焦系統(tǒng)直接從CAD設(shè)計(jì)中導(dǎo)入到光刻膠中。聚合物的雙光子或多光子吸收用于形成高質(zhì)量表面的3D結(jié)構(gòu)。<100 nm的尺寸可自成形結(jié)構(gòu), 200nm10μm尺寸可以控制和重復(fù)。納米級分辨率和各式各樣的基于這種技術(shù)的聚合物延伸應(yīng)用(微光學(xué)元件,支架,微流體,微光機(jī)電系統(tǒng),功能表面等等)。在按照CAD設(shè)計(jì)塑造出3D構(gòu)造后,使用有機(jī)溶劑將剩下的未固結(jié)的光刻膠沖洗掉,底物上留下制備的微觀結(jié)構(gòu)。

 

后期處理

將制備出的模型按序浸沒在數(shù)種不同的溶劑以去除塑形后剩余的液體聚合物。所有過程全自動運(yùn)行,并且運(yùn)行參數(shù)(浸沒時間,溫度,等等)可以按照要求進(jìn)行設(shè)置。另外,針對特殊的物件除上述處理外還可以用紫外燈或臨界點(diǎn)烘干機(jī)進(jìn)行處理。

 

關(guān)鍵詞:烘干機(jī)
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