總體規(guī)格特點(diǎn):
● 重量:50kg(含顯微鏡)
● 尺寸:590mm寬*500mm長(zhǎng)*700mm高(含顯微鏡)
● 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì),便于工程師長(zhǎng)時(shí)間舒適的操作
顯微鏡操控規(guī)格:
● 在探針臺(tái)右側(cè)有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測(cè)試時(shí)更換物鏡鏡頭
● 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍2"X2",精度1μm
● 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便精確調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動(dòng)精度1μm
臺(tái)面規(guī)格:
● 探針臺(tái)臺(tái)面平整度:5μm
● 探針臺(tái)左側(cè)有搖杠可以控制臺(tái)面快速上下升降6mm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的重選擇
● 探針臺(tái)右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿,搖動(dòng)時(shí)可使臺(tái)面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的復(fù)位
卡盤(載物臺(tái),即圖中的chuck)規(guī)格:
● 6" 卡盤,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。?,最小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為6"X6"
● 卡盤可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋鈕
● 卡盤X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為6"X6",移動(dòng)精度為1μm,為方便點(diǎn)測(cè)的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測(cè)6"wafer的時(shí)候,可以保證6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測(cè)到
性能:
● 鍍金真空吸附卡盤: 對(duì)應(yīng)可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品
● 大旋鈕移動(dòng)卡盤臺(tái),X-Y方向行程:6"-6"
● 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品
● 線性無(wú)回差調(diào)節(jié)
● 臺(tái)面快速升/降行程:6mm,精調(diào)升/降行程:25mm
● 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
● 卡盤平整度: 10um
● 卡盤旋轉(zhuǎn)角度:0~360°
● Chuck Theta: ±15
● 大旋鈕滑臺(tái)X-Y方向精度: 1um
● 臺(tái)面上/下升降搖桿/旋鈕
● 顯微鏡傾仰裝置
附件:
● 顯微鏡傾仰裝置
● 射頻測(cè)試探頭/電纜
● 有源探頭
● 低電流/電容測(cè)試
● 高壓測(cè)試
● 激光修復(fù)
● CCD/數(shù)字相機(jī),USB接口
● 探針卡/封裝/PCB板夾具
● 加熱裝置
● 防震桌
● 屏蔽箱
● 顯微鏡暗場(chǎng)/Normarski 檢測(cè)
北京美亞先科技有限公司(Beijing Meiyaxian Technology Co. Ltd)簡(jiǎn)稱美亞先科技,自從2009年成立之初就一直致力于將歐美和亞洲的*技術(shù)與產(chǎn)品擇優(yōu)引入中國(guó)市場(chǎng),通過(guò)學(xué)習(xí)、消化、吸收的工藝技術(shù),嘗試、引進(jìn)、共享這些高科技產(chǎn)品帶來(lái)的益處,并促其在廣袤的中國(guó)市場(chǎng)上扎根發(fā)芽、開花結(jié)果、發(fā)揚(yáng)光大。為中國(guó)經(jīng)濟(jì)的騰飛發(fā)達(dá),出一份綿薄之力。故此,融合○共享○發(fā)揚(yáng)成為北京美亞先科技有限公司成長(zhǎng)壯大深層次的文化理念?! ”本┟纴喯瓤萍加邢薰痉e極服務(wù)于科研教育、計(jì)量校準(zhǔn)、車輛檢測(cè)、數(shù)據(jù)采集、顯微分析、工、工業(yè)控制與自動(dòng)化等多個(gè)行業(yè),產(chǎn)品線包括:● 探針臺(tái)系列用于半導(dǎo)體特性分析與設(shè)計(jì)測(cè)試等的各式探針臺(tái)及其配套產(chǎn)品,包括探針臺(tái)臺(tái)體、探針座、探針夾具/線纜、探針及顯微鏡、真空泵、視像采集、防震桌、屏蔽箱、溫度或磁場(chǎng)控制裝置等,細(xì)分品類有上百種之多。適合于晶圓測(cè)試,器件失效分析/可靠性分析,材料特性分析,光電器件與平板顯示器、射頻與微波器件、生物芯片、微納器件的物理化學(xué)特性測(cè)試以及半導(dǎo)體設(shè)計(jì)等多個(gè)領(lǐng)域?!瘛∮?jì)量校準(zhǔn)系列省地級(jí)或部門行業(yè)的計(jì)量校準(zhǔn)/質(zhì)量檢驗(yàn)院所,國(guó)內(nèi)的企業(yè)級(jí)的計(jì)量校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室,從達(dá)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的產(chǎn)品到適合企業(yè)使用的常規(guī)計(jì)量?jī)x器都有覆蓋。包括電容標(biāo)準(zhǔn)和電容電橋系列;電阻標(biāo)準(zhǔn)、精密分流器和高壓分壓器系列;用于高溫和光譜輻射標(biāo)準(zhǔn)的高溫黑體爐和LP4/LP5高溫計(jì)系列;還有十進(jìn)制電阻箱/電容箱/電感箱,多功能校準(zhǔn)器及電流、電壓、溫度、壓力等的現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)儀器等?!瘛★@微分析系列除了可以提供金相顯微鏡、體視顯微鏡、ZOOM顯微鏡及視像采集CCD等配套產(chǎn)品外,還可提供包括用于三維(3D)形貌分析的激光共聚焦顯微鏡,適用于半導(dǎo)體晶元、微納米/MEMS器件、各種材料表面分析等領(lǐng)域;也可提供用于樣品材料化學(xué)成分分析、晶體結(jié)構(gòu)、分子間相互作用、分子取向以及形貌特征等的便攜式拉曼光譜儀,適用于石墨烯、表面增強(qiáng)、食品藥品安全、寶玉石鑒定、生物物理化學(xué)材料分析等領(lǐng)域?!瘛】删幊屉娫聪盗械木?、可編程電源及電子負(fù)載全系列產(chǎn)品線,廣泛應(yīng)用于多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域的研發(fā)、自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)、過(guò)程控制、電源總線模擬及電源調(diào)節(jié)方面。包括直流臺(tái)式電源、直流機(jī)架式電源、直流模塊化電源、交流電源、交流/直流電子負(fù)載,覆蓋AMETEK、ELGAR、AMREL、Sorensen、California Instruments和Xantrex等世界。● 車輛檢測(cè)系列用于汽車(包括電動(dòng)汽車)及其他車輛的檢測(cè),包括車門關(guān)閉速度與能量測(cè)試系統(tǒng)(Door Speed)、引擎NVH檢測(cè)系統(tǒng)、馬達(dá)NVH檢測(cè)系統(tǒng)、無(wú)線引擎轉(zhuǎn)速計(jì)、CAN總線分析測(cè)試系統(tǒng)等,高性能硬件+方便易用的軟件構(gòu)成完整的解決方案?!瘛?shù)據(jù)采集與工業(yè)控制系列數(shù)據(jù)采集與工業(yè)控制簡(jiǎn)稱數(shù)采與工控系列,包括應(yīng)力應(yīng)變量測(cè)系統(tǒng)、振動(dòng)與加速度量測(cè)系統(tǒng)、多功能數(shù)據(jù)采集器(FleXense)、以及用于電動(dòng)汽車、自行車齒片耐久性、CVT和引擎的動(dòng)力計(jì)/測(cè)功機(jī)系統(tǒng)等?!瘛∑渌麥y(cè)試與測(cè)量系列 ? 通用的測(cè)量?jī)x表如數(shù)字源表、SMU源測(cè)量單元、示波器等; ? 專業(yè)的半導(dǎo)體特性分析儀、IV/CV/PIV分析儀; ? 極弱信號(hào)測(cè)量?jī)x器如靜電計(jì)/高阻計(jì)/微電流pA計(jì)、納伏表、微歐姆計(jì); ? 極微小物理/化學(xué)變化測(cè)量工具,高靈敏度+準(zhǔn)度的電容電橋; ? LED/OLED/LD/PD及LED照明產(chǎn)品的光色電測(cè)量系統(tǒng); ? LED/LD的老化與可靠性測(cè)試系統(tǒng); ? 四探針測(cè)量系統(tǒng); ? 變形IV/微力測(cè)試系統(tǒng); ? 射頻/微波網(wǎng)絡(luò)分析儀; ? 負(fù)載牽引Load Pull系統(tǒng); ? 低溫膨脹計(jì); ? 納米微定位器/微注射器; ? 電生理實(shí)驗(yàn)室使用的拉針儀; 美亞先科技持續(xù)追蹤新的科技領(lǐng)域、前沿學(xué)科的動(dòng)向,引入的產(chǎn)品線仍在不斷優(yōu)化和擴(kuò)充中。既可以直接在網(wǎng)站中按照產(chǎn)品分類進(jìn)行查找、也可按照代理品牌或者應(yīng)用方案分類來(lái)查找,以便我們的廣大客戶可以快速便捷地找到所關(guān)注的產(chǎn)品、應(yīng)用等有價(jià)值的信息。為了增強(qiáng)用戶的產(chǎn)品體驗(yàn),在充分利用電話、網(wǎng)絡(luò)溝通工具解答產(chǎn)品信息、應(yīng)用咨詢的基礎(chǔ)上,對(duì)主要產(chǎn)品我們還可以免費(fèi)提供試用服務(wù)?! ∶纴喯瓤萍家呀?jīng)與多家跨國(guó)公司建立了良好的合作關(guān)系,成為多個(gè)公司在中國(guó)大陸、香港澳門市場(chǎng)的代理或代理,包括中國(guó)臺(tái)灣奕葉(EverBeing)探針臺(tái)系列;美國(guó)安登?海格林(Andeen-Hagerling)的電容標(biāo)準(zhǔn)與電容橋系列;美國(guó)歐姆實(shí)驗(yàn)室(Ohm-Labs)的電阻標(biāo)準(zhǔn)/分流器/分壓器系列;美國(guó)Thermo Gauge的高溫黑體爐和輻射率測(cè)量系列;英國(guó)時(shí)代電子(Time-Electronics)的電阻箱/電容箱/電感箱、多功能校準(zhǔn)器及電流、電壓、溫度、壓力等的現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)器系列;車輛檢測(cè)系列+數(shù)據(jù)采集與工業(yè)控制系列;韓國(guó)Nanoscope Systems的激光共聚焦顯微鏡系列+便攜式拉曼光譜儀系列;美國(guó)Sutter微操縱器/拉針儀系列;美國(guó)AMETEK可編程電源系列;美國(guó)Vektrex光電測(cè)試與老化系列;美國(guó) GGB射頻微波(RF+MW)探針系列;美國(guó)Keysight/Agilent、Tektronix/Keithley、Tegam電子測(cè)量?jī)x器系列等?! ∶纴喯瓤萍加邢薰究偛课挥诒本?,在上海和廣州設(shè)有辦事處;在為廣大中國(guó)客戶帶來(lái)*的、性價(jià)比更高的產(chǎn)品的同時(shí),更加積極地為客戶提供的服務(wù),已經(jīng)與多家公司合作建立了中國(guó)區(qū)技術(shù)支持與服務(wù)中心,解決相關(guān)的技術(shù)、應(yīng)用、備品備件及維修等問(wèn)題,我們?yōu)槿克郛a(chǎn)品,提供完善的保修和售后服務(wù),使您使用無(wú)后顧之憂。同時(shí),基于多年的積累的經(jīng)驗(yàn),也可為別的品牌提供維修與部件更換服務(wù),包括但不限于 CASCADE、Micromanipulator、Signatone、儀準(zhǔn)、展芯、鑫志尚/Semishare、Guildline等?! ∶纴喯瓤萍嫉募夹g(shù)人員,熱忱歡迎您通過(guò)網(wǎng)站、電子郵件、電話手機(jī)、微信、商橋等與我們聯(lián)系,促進(jìn)并實(shí)現(xiàn)歐美和亞洲的*技術(shù)與中國(guó)市場(chǎng)的融合、共享與發(fā)揚(yáng)的使命。
電子探針
BD系列高精度探針臺(tái) 產(chǎn)品信息
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