光氧離子催化氧化技術(shù)是利用光離子和活性游離氧兩個(gè)條件用其中的大量活性粒子，促進(jìn)與污染源分子的反應(yīng)，產(chǎn)生包括負(fù)離子、羥基、原子和自由基在內(nèi)的混合體。過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)常溫狀態(tài)。

光氧離子降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。光氧離子反應(yīng)區(qū)富含高的物質(zhì)，如高能電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等，廢氣中的污染物質(zhì)可與這些具有較高能量的物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，使污染物質(zhì)在短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。