型號(hào):GSL-1700X-F3LV
產(chǎn)品概述:GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),溫度可以達(dá)到1700°C,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
管式爐結(jié)構(gòu) | · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 | ||||||
加熱元件 | 1800 grade MoSi2 ( 8根) | ||||||
工作溫度 | 1650℃(<2h)(更新時(shí)間:19.12.10--JS2) 1600℃(長(zhǎng)期工作溫度) | ||||||
升溫速率 | 5℃/min | ||||||
降溫速率 | 5℃/min | ||||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 455mm (18") | ||||||
溫控系統(tǒng) | · 一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制,通過(guò)可控硅 SCR · 可設(shè)置30段升降溫程序. · 控溫儀表操作視頻 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) | ||||||
控溫精度 | +/-1℃ | ||||||
爐管材質(zhì)和尺寸 | · 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 · (標(biāo)配)OD: 60 mm:ID: 50mm x1000 mm L (選配)OD: 80 mm:ID: 70mm x1000 mm L | ||||||
密封法蘭 | · 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表(圖片中的藍(lán)表為選配)和閥門(mén) · 通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr 泄漏率6 mtorr/min | ||||||
輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:5KW | ||||||
真空泵和配件 |
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氣體流量計(jì) | · 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上,可以推動(dòng),可同時(shí)混入三種不同氣體。 · 路氣體流量范圍為10-100 cc/min. · 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. · 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. · 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上,壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力 · 四個(gè)不銹鋼針閥安裝在前面板上 Front Panel Back Panel Gas Routes | ||||||
運(yùn)輸信息 |
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件 | ||||||
質(zhì)量認(rèn)證 | CE certified |