低溫等離子體技術(shù)是一個(gè)集物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和環(huán)境科學(xué)于一體的交叉綜合性技術(shù)，該技術(shù)顯著特點(diǎn)是對(duì)污染物兼具物理效應(yīng)、化學(xué)效應(yīng)和生物效應(yīng)，且有能耗低、效率高、無(wú)二次污染等明顯優(yōu)點(diǎn)。其凈化作用機(jī)理包含兩個(gè)方面：

一是在產(chǎn)生等離子體的過(guò)程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開(kāi)一些有害氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或無(wú)害分子；

二是等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場(chǎng)作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當(dāng)臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，臭氣分子的化學(xué)鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無(wú)害氣體分子。同時(shí)產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性*的O3，與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，zui終生成無(wú)害產(chǎn)物。